Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы

Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы

Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой (англ. plasma-enhanced chemical vapor deposition) — процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком давлении с использованием высокочастотной плазмы[1].

Описание

Технология плазмохимического осаждения использует газоразрядную плазму для разложения реакционного газа на активные радикалы. Применение различных приемов возбуждения плазмы в реакционном объёме и управление её параметрами позволяет интенсифицировать процессы роста покрытий, проводить осаждение аморфных и поликристаллических пленок при значительно более низких температурах подложки, делает более управляемыми процессы формирования заданного микрорельефа, структуры, примесного состава и других характеристик покрытия по сравнению с аналогичныхи процессами при химическом осаждении из газовой фазы (CVD), основанными на термическом разложении реакционного газа[1].

Примечания

  1. ↑ 1 2 Журавлева Наталья Геннадиевна, Наймушина Дарья Анатольевна. Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы, «Словарь нанотехнологичных терминов». РОСНАНО. Архивировано из первоисточника 1 ноября 2012. Проверено 21 августа 2012.

Литература

  • НТЦ Нанотехнология, 2006. — www.nano.org.ua
  • Передовые плазменные технологии // Intech, 2008. — www.plasmasystem.ru
Wiki letter w.svg
 На эту статью не ссылаются другие статьи Википедии.
Пожалуйста, воспользуйтесь подсказкой и установите ссылки в соответствии с принятыми рекомендациями.

Wikimedia Foundation. 2010.

Игры ⚽ Нужна курсовая?

Полезное


Смотреть что такое "Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы" в других словарях:

  • плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — Термин плазменно химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском plasma enhanced chemical vapor deposition Синонимы плазмохимическое газофазное осаждение, осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой Аббревиатуры PECVD, ПХО, ПХГФО …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • химическое осаждение из газовой фазы — Термин химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском chemical vapour deposition Синонимы химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition Аббревиатуры CVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • тонкие пленки — Термин тонкие пленки Термин на английском thin films Синонимы Аббревиатуры Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, квантовая яма, осаждение атомных слоев, плазменно химическое осаждение из газовой фазы, поверхность, подложка,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин — ПодразделыПоликристаллические слоиЭпитаксиальные слоиСтатьиабляцияадсорбциябиосовместимые покрытиягетероэпитаксиягомоэпитаксиязародышеобразованиекриоконденсациямеханизм роста Странского Крастановамеханизм роста Франка – Ван дер Мерве …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • нанопорошок — Термин нанопорошок Термин на английском nanopowder Синонимы Аббревиатуры Связанные термины гидротермальный синтез, дисперсность, золь гель переход, золь гель процесс, компактирование нанопорошков, криопомол, кристаллит, БЭТ, метод, метод BJH,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • углеродные нанотрубки — Термин углеродные нанотрубки Термин на английском carbon nanotubes Синонимы Аббревиатуры УНТ, CNT, SWNT, MWNT Связанные термины морфология наноструктур, луковичная форма углерода, неорганические нанотрубки , плазменно химическое осаждение из… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Плазмохимическое, ионно- и электронно-лучевое модифицирование поверхности — Статьибиосовместимые покрытияионная имплантациямикроморфологияплазменно химическое осаждение из газовой фазы (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …   Энциклопедический словарь нанотехнологий


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»