химическое осаждение из газовой фазы

химическое осаждение из газовой фазы
Термин
химическое осаждение из газовой фазы
Термин на английском
chemical vapour deposition
Синонимы
химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition
Аббревиатуры
CVD
Связанные термины
физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные, волокна, карбидкремниевые, осаждение атомных слоев, плазменно-химическое осаждение из газовой фазы, химическое осаждение из паров металлорганических соединений, эпитаксия газофазная
Определение
метод получения тонких пленок и порошков при помощи высокотемпературных реакций разложения и/или взаимодействия газообразных прекурсоров на подложке (получение пленок) или в объеме реактора (получение порошков)
Описание

Существует множество разновидностей этого метода, отличающихся способом инициации химических реакций и условиями процесса (давление, способ транспортировки паров в область подложки и т.д.). Как правило, в качестве прекурсоров используются соединения, имеющее достаточно высокое давление паров при невысоких температурах (100 - 400оС; хлориды металлов, металлоорганические комплексные соединения). Необходимым условием получения высококачественных пленок этим методом является высокая точность контроля скорости газовых потоков и интенсивности испарения прекурсоров.

  
Метод химического осаждения из газовой фазы позволяет получать покрытия различной структуры (монокристаллические, эпитаксиальные, аморфные, поликристаллические) на поверхностях сложной формы, в том числе с высокой степенью кривизны. Метод химического осаждения из газовой фазы в условиях объемной конденсации весьма эффективен при получении слабоагрегированных нанопорошков различных соединений.

Авторы
  • Журавлева Наталья Геннадиевна
  • Шляхтин Олег Александрович, к.х.н.
Ссылки
  1. Chemical vapor deposition / Wikipedia URL: http://en.wikipedia.org/wiki/Chemical_vapor_deposition
  2. H. O. Pierson, Handbook of Chemical Vapor Deposition (CVD): Principles, Technology and Applications - NJ, 1992 - P. 235,
  3. Fundamentals of Chemical Vapor Deposition. http://www.timedomaincvd.com/CVD_Fundamentals/Fundamentals_of_CVD.html
Иллюстрации
Теги
Разделы
Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Игры ⚽ Поможем решить контрольную работу

Полезное


Смотреть что такое "химическое осаждение из газовой фазы" в других словарях:

  • ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических пленок (напр., в планарной технологии),… …   Большой Энциклопедический словарь

  • ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твердых в в р циями с участием газообразных соединений. По механизму р ций подразделяется на 4 вида: 1) термич. разложение или диспропорционирование газообразных соед., напр. SiH4 Si, ZrI4 Zr, Ni(CO)4 Ni, A1F Al, MRn M, где M металл, R… …   Химическая энциклопедия

  • химическое осаждение из газовой фазы — получение твёрдых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических плёнок (например, в планарной технологии) …   Энциклопедический словарь

  • плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — Термин плазменно химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском plasma enhanced chemical vapor deposition Синонимы плазмохимическое газофазное осаждение, осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой Аббревиатуры PECVD, ПХО, ПХГФО …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой (англ. plasma enhanced chemical vapor deposition)  процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком… …   Википедия

  • химическое осаждение из паровой фазы — Процесс в газовой среде, при котором осаждаются изолирующие или металлические пленки на подложку при повышенной температуре. Для ускорения химической реакции часто используется пониженное давление. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]… …   Справочник технического переводчика

  • осаждение из газовой фазы —  Vapor Deposition  Осаждение из газовой фазы   Химическое осаждение из газовой фазы получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий,… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твёрдых в в с помощью хим. реакций, в к рых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллич. плёнок (напр., в планарной технологии), нитевидных… …   Естествознание. Энциклопедический словарь

  • физическое осаждение из газовой фазы — Термин физическое осаждение из газовой фазы Термин на английском physical vapour deposition Синонимы PVD процесс Аббревиатуры PVD Связанные термины химическое осаждение из паров металлорганических соединений Определение технология нанесения… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • химическое осаждение из паров металлорганических соединений — Термин химическое осаждение из паров металлорганических соединений Термин на английском metalorganic chemical vapour deposition Синонимы Аббревиатуры MOCVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, эпитаксия газофазная Определение… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»