плазменно-химическое осаждение из газовой фазы
- плазменно-химическое осаждение из газовой фазы
-
- Термин
-
- плазменно-химическое осаждение из газовой фазы
- Термин на английском
-
- plasma-enhanced chemical vapor deposition
- Синонимы
-
- плазмохимическое газофазное осаждение, осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой
- Аббревиатуры
-
- PECVD, ПХО, ПХГФО
- Связанные термины
-
- нанопорошок, углеродные нанотрубки
- Определение
-
процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком давлении с использованием высокочастотной плазмы
- Описание
-
Технология плазмохимического осаждения использует газоразрядную плазму для разложения реакционного газа на активные радикалы. Применение различных приемов возбуждения плазмы в реакционном объеме и управление ее параметрами позволяет интенсифицировать процессы роста покрытий, проводить осаждение аморфных и поликристаллических пленок при значительно более низких температурах подложки, делает более управляемыми процессы формирования заданного микрорельефа, структуры, примесного состава и других характеристик покрытия по сравнению с аналогичныхи процессами при химическом осаждении из газовой фазы (CVD), основанном на термическом разложении реакционного газа.
- Авторы
-
- Журавлева Наталья Геннадиевна
- Наймушина Дарья Анатольевна
- Ссылки
-
- НТЦ Нанотехнология,© 2006 URL: www.nano.org.ua
- Передовые плазменные технологии / © 2008 Intech URL: www.plasmasystem.ru
- Иллюстрации
-
|
Пример применения ПХО: Массив углеродных нанотрубок, выращенных на металлических катализаторах
УНТ были получены из плазмы, содержащей ацетилен и аммиак в соотношении 1:3, при температуре 750 °С и при пониженном давлении.
Изменение технологических режимов модуля плазменного осаждения из газовой фазы позволяет получать нанотрубки различной длины и диаметра.
|
- Теги
-
- Разделы
-
- Плазмохимическое, ионно- и электронно-лучевое модифицирование поверхности
Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано.
2010.
Полезное
Смотреть что такое "плазменно-химическое осаждение из газовой фазы" в других словарях:
Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой (англ. plasma enhanced chemical vapor deposition) процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком… … Википедия
химическое осаждение из газовой фазы — Термин химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском chemical vapour deposition Синонимы химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition Аббревиатуры CVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные … Энциклопедический словарь нанотехнологий
тонкие пленки — Термин тонкие пленки Термин на английском thin films Синонимы Аббревиатуры Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, квантовая яма, осаждение атомных слоев, плазменно химическое осаждение из газовой фазы, поверхность, подложка,… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин — ПодразделыПоликристаллические слоиЭпитаксиальные слоиСтатьиабляцияадсорбциябиосовместимые покрытиягетероэпитаксиягомоэпитаксиязародышеобразованиекриоконденсациямеханизм роста Странского Крастановамеханизм роста Франка – Ван дер Мерве … Энциклопедический словарь нанотехнологий
нанопорошок — Термин нанопорошок Термин на английском nanopowder Синонимы Аббревиатуры Связанные термины гидротермальный синтез, дисперсность, золь гель переход, золь гель процесс, компактирование нанопорошков, криопомол, кристаллит, БЭТ, метод, метод BJH,… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
углеродные нанотрубки — Термин углеродные нанотрубки Термин на английском carbon nanotubes Синонимы Аббревиатуры УНТ, CNT, SWNT, MWNT Связанные термины морфология наноструктур, луковичная форма углерода, неорганические нанотрубки , плазменно химическое осаждение из… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Плазмохимическое, ионно- и электронно-лучевое модифицирование поверхности — Статьибиосовместимые покрытияионная имплантациямикроморфологияплазменно химическое осаждение из газовой фазы (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») … Энциклопедический словарь нанотехнологий
