плазменно-химическое осаждение из газовой фазы


плазменно-химическое осаждение из газовой фазы
Термин
плазменно-химическое осаждение из газовой фазы
Термин на английском
plasma-enhanced chemical vapor deposition
Синонимы
плазмохимическое газофазное осаждение, осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой
Аббревиатуры
PECVD, ПХО, ПХГФО
Связанные термины
нанопорошок, углеродные нанотрубки
Определение
процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком давлении с использованием высокочастотной плазмы
Описание

Технология плазмохимического осаждения использует газоразрядную плазму для разложения реакционного газа на активные радикалы. Применение различных приемов возбуждения плазмы в реакционном объеме и управление ее параметрами позволяет интенсифицировать процессы роста покрытий, проводить осаждение аморфных и поликристаллических пленок при значительно более низких температурах подложки, делает более управляемыми процессы формирования заданного микрорельефа, структуры, примесного состава и других характеристик покрытия по сравнению с аналогичныхи процессами при химическом осаждении из газовой фазы (CVD), основанном на термическом разложении реакционного газа.

Авторы
  • Журавлева Наталья Геннадиевна
  • Наймушина Дарья Анатольевна
Ссылки
  1. НТЦ Нанотехнология,© 2006 URL: www.nano.org.ua
  2. Передовые плазменные технологии / © 2008 Intech URL: www.plasmasystem.ru
Иллюстрации
Пример применения ПХО: Массив углеродных нанотрубок, выращенных на металлических катализаторах

Пример применения ПХО: Массив углеродных нанотрубок, выращенных на металлических катализаторах

УНТ были получены из плазмы, содержащей ацетилен и аммиак в соотношении 1:3, при температуре 750 °С и при пониженном давлении.
Изменение технологических режимов модуля плазменного осаждения из газовой фазы позволяет получать нанотрубки различной длины и диаметра.


Теги
Разделы
Плазмохимическое, ионно- и электронно-лучевое модифицирование поверхности
Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "плазменно-химическое осаждение из газовой фазы" в других словарях:

  • Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой (англ. plasma enhanced chemical vapor deposition)  процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком… …   Википедия

  • химическое осаждение из газовой фазы — Термин химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском chemical vapour deposition Синонимы химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition Аббревиатуры CVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • тонкие пленки — Термин тонкие пленки Термин на английском thin films Синонимы Аббревиатуры Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, квантовая яма, осаждение атомных слоев, плазменно химическое осаждение из газовой фазы, поверхность, подложка,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин — ПодразделыПоликристаллические слоиЭпитаксиальные слоиСтатьиабляцияадсорбциябиосовместимые покрытиягетероэпитаксиягомоэпитаксиязародышеобразованиекриоконденсациямеханизм роста Странского Крастановамеханизм роста Франка – Ван дер Мерве …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • нанопорошок — Термин нанопорошок Термин на английском nanopowder Синонимы Аббревиатуры Связанные термины гидротермальный синтез, дисперсность, золь гель переход, золь гель процесс, компактирование нанопорошков, криопомол, кристаллит, БЭТ, метод, метод BJH,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • углеродные нанотрубки — Термин углеродные нанотрубки Термин на английском carbon nanotubes Синонимы Аббревиатуры УНТ, CNT, SWNT, MWNT Связанные термины морфология наноструктур, луковичная форма углерода, неорганические нанотрубки , плазменно химическое осаждение из… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Плазмохимическое, ионно- и электронно-лучевое модифицирование поверхности — Статьибиосовместимые покрытияионная имплантациямикроморфологияплазменно химическое осаждение из газовой фазы (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …   Энциклопедический словарь нанотехнологий


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»

We are using cookies for the best presentation of our site. Continuing to use this site, you agree with this.