Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин

Подразделы

• Поликристаллические слои
• Эпитаксиальные слои

Статьи

• абляция
• адсорбция
• биосовместимые покрытия
• гетероэпитаксия
• гомоэпитаксия
• зародышеобразование
• криоконденсация
• механизм роста Странского - Крастанова
• механизм роста Франка – Ван дер Мерве
• механизмы роста тонких пленок
• микроморфология
• осаждение атомных слоев
• островок
• плазменно-химическое осаждение из газовой фазы

(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)