эпитаксия молекулярно-лучевая, метод


эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
Термин
эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
Термин на английском
molecular beam epitaxy
Синонимы
Аббревиатуры
МЛЭ, МПЭ, MBE
Связанные термины
гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, квантовая яма, нановискер, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная
Определение

Разновидность эпитаксии как одного из нанотехнологических методов получения полупроводниковых гетероструктур. Молекулярно-лучевое эпитаксиальное наращивание на подложке монокристаллических слоев полупроводниковых веществ заключается в осаждении испаренных компонентов на нагреваемую монокристаллическую подложку с одновременным взаимодействием между ними.

Описание

Каждый нагреватель установки МЛЭ содержит тигель, являющийся источником одного из компонентов пленки. Температура нагревателей определяется величиной давления паров испаряемых веществ, которое должно быть достаточным для формирования соответствующих молекулярных пучков. Испаряемое вещество переносится на подложку в условиях высокого вакуума. Нагреватели располагаются так, чтобы максимумы распределений интенсивности пучков пересекались в плоскости подложки. Подбор температуры нагревателей и подложки позволяет получать пленки сложного химического состава. Повышение температуры подложки до определенного предела обычно приводит к повышению качества эпитаксиальных слоев. Дополнительное управление процессом наращивания слоев осуществляется с помощью заслонок, расположенных между нагревателем и подложкой и позволяющих прерывать или возобновлять поступление любого из молекулярных пучков на подложку. Установки МЛЭ снабжены вакуумными шлюзами для смены образцов м могут содержать оборудование для анализа пленок in situ методами дифракции отраженных электронов, масс-спектрометрии и оже-спектрометрии с возможностью исследования оже-спектров распыленных ионов. Метод МЛЭ с использованием масок позволяет выращивать на поверхности локальные структуры различного рельефа. Уникальным свойством МЛЭ является возможность выращивания сверхрешеток - полупроводниковых гетероструктур с резкими границами, гладкими на атомарном уровне.

Авторы
  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
Иллюстрации
Схема установки (а) и вакуумная камера (б) установки молекулярно-лучевой эпитаксии

Схема установки (а) и вакуумная камера (б) установки молекулярно-лучевой эпитаксии для выращивания пленки твердого раствора AlxGa1-xAs на подложке GaAs


Теги
Разделы
Эпитаксиальные слои

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "эпитаксия молекулярно-лучевая, метод" в других словарях:

  • молекулярно-лучевая эпитаксия — Процесс физического осаждения, (в основном из паровой фазы), выполняется в сверхвысоком вакууме (ниже 10 8 торр) и при температуре подложки, обычно не превышающей 800 oC; свободный (молекулярный) поток реагентов для осаждения и химическая чистота …   Справочник технического переводчика

  • Молекулярно-лучевая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслонкой шибером. Молекулярно пучковая эпитаксия (МПЭ) или молекулярно лучевая эпитаксия (МЛЭ) эпитаксиальный рост в условиях… …   Википедия

  • Молекулярно — лучевая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслонкой шибером. Молекулярно пучковая эпитаксия (МПЭ) или молекулярно лучевая эпитаксия (МЛЭ) эпитаксиальный рост в условиях… …   Википедия

  • эпитаксия — Термин эпитаксия Термин на английском epitaxy Синонимы Аббревиатуры Связанные термины гетероструктура полупроводниковая, гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, подложка, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • эпитаксия газофазная — Термин эпитаксия газофазная Термин на английском metalorganic vapour phase epitaxy Синонимы Аббревиатуры MOVPE Связанные термины гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, нановискер, химическое осаждение из паров металлорганических соединений, эпитаксия… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • эпитаксия твердофазная — Термин эпитаксия твердофазная Термин на английском solid phase epitaxy Синонимы Аббревиатуры ТФЭ, SPE Связанные термины гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, эпитаксия молекулярно лучевая, метод Определение способ наращивания эпитаксиальной пленки, при …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • эпитаксия жидкофазная — Термин эпитаксия жидкофазная Термин на английском liquid phase epitaxy Синонимы Аббревиатуры LPE Связанные термины гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, нановискер, эпитаксия молекулярно лучевая, метод Определение разновидность эпитаксии как одного из… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • ЭПИТАКСИЯ — (от греч. epi на и taxis расположение, порядок), ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда в ва подложки и нарастающего кристалла различны, и г о м о э п и т а к с и ю… …   Физическая энциклопедия

  • Молекулярно-пучковая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслон …   Википедия

  • Молекулярно — пучковая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслонкой шибером. Молекулярно пучковая эпитаксия (МПЭ) или молекулярно лучевая эпитаксия (МЛЭ) эпитаксиальный рост в условиях… …   Википедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»

We are using cookies for the best presentation of our site. Continuing to use this site, you agree with this.