эпитаксия


эпитаксия
Термин
эпитаксия
Термин на английском
epitaxy
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
гетероструктура полупроводниковая, гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, подложка, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
Определение
ориентированный рост одного монокристалла на монокристаллической поверхности другого
Описание

Важное значение для получения эпитаксиальных слоев высокого кристаллического совершенства являются: чистота поверхности подложки, скорость нанесения материала и температура процесса. Рост эпитаксиальных пленок может происходить из газовой, жидкой или твердой фазы, поэтому различают газофазную эпитаксию, жидкофазную эпитаксию, твердофазную эпитаксию и молекулярно-лучевую эпитаксию.
Монокристаллическая подложка задает параметры роста пленки, поэтому кристаллическая структура и ориентация эпитаксиальной пленки совпадает со структурой и ориентацией подложки. Это отличает эпитаксиальный рост от роста тонких пленок, когда наблюдается рост поликристаллических или аморфных пленок даже на монокристаллических подложках. Если состав пленки и подложки совпадают, процесс называют гомоэпитаксией, если нет, то гетероэпитаксией.

Эпитаксиальный рост широко используется в нанотехнологиях и производстве полупроводниковых приборов для создания слоев полупроводниковых материалов с высоким кристаллическим качеством, таких как кремний-германий, нитрид галлия, арсенид галлия и фосфид индия.

Авторы
  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
  • Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
Иллюстрации
Теги
Разделы
Эпитаксиальные слои
Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Синонимы:

Смотреть что такое "эпитаксия" в других словарях:

  • Эпитаксия — это закономерное нарастание одного кристаллического материала на другой (от греч. επι на и ταξισ упорядоченность), т.е. ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Строго говоря, рост всех кристаллов можно назвать… …   Википедия

  • ЭПИТАКСИЯ — (от греч. epi на и taxis расположение, порядок), ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда в ва подложки и нарастающего кристалла различны, и г о м о э п и т а к с и ю… …   Физическая энциклопедия

  • ЭПИТАКСИЯ — (от эпи... и греч. taxis расположение) ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого (подложки). Вещества могут быть одинаковы (гомоэпитаксия, или автоэпитаксия) или различны (гетероэпитаксия). Эпитаксия определяется условием… …   Большой Энциклопедический словарь

  • эпитаксия — сущ., кол во синонимов: 2 • гетероэпитаксия (1) • гомоэпитаксия (2) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 …   Словарь синонимов

  • ЭПИТАКСИЯ — закономерное срастание к лов веществ разл. состава, связанное с близостью строения их кристаллических структур или отдельных плоских сеток и рядов решеток срастающихся м лов. Напр., сагенитовая решетка в биотите и др. м лах, пегматитовые… …   Геологическая энциклопедия

  • эпитаксия — Процесс, при котором тонкий слой монокристаллического материала осаждается на монокристаллической подложке; эпитаксиальный рост происходит таким образом, что кристаллографическая структура подложки воспроизводится в растущем слое; в растущем слое …   Справочник технического переводчика

  • эпитаксия — (от эпи... и греч. táxis  расположение), ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого (подложки). Вещества могут быть одинаковы (гомоэпитаксия, или автоэпитаксия) или различны (гетероэпитаксия). Эпитаксия определяется условием …   Энциклопедический словарь

  • Эпитаксия — [epitaxy] ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда вещества подложки и нарастающего кристалла различны, и гомоэпитаксию (автоэпитаксию), когда они одинаковы. Ориентированный рост… …   Энциклопедический словарь по металлургии

  • эпитаксия —  Epitaxy  or Epi  Эпитаксия   Ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда вещества подложки и нарастающего кристалла различны, и гомоэпитаксию (автоэпитаксию), когда они одинаковы.… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Эпитаксия — Epitaxy Эпитаксия. Рост кристаллов при электролизе или из паровой фазы, при котором ориентация образующихся отложений непосредственно связана кристаллическими ориентациями в основной кристаллической решетке. (Источник: «Металлы и сплавы.… …   Словарь металлургических терминов

Книги



Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»

We are using cookies for the best presentation of our site. Continuing to use this site, you agree with this.