- эпитаксия жидкофазная
-
- Термин
- эпитаксия жидкофазная
- Термин на английском
- liquid-phase epitaxy
- Синонимы
- Аббревиатуры
- LPE
- Связанные термины
- гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, нановискер, эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
- Определение
разновидность эпитаксии как одного из технологических методов, применяемых для получения многослойных полупроводниковых гетероструктур типа AlGaAs/GaAs.
- Описание
На первом этапе жидкофазной эпитаксии готовится смесь (шихта) из вещества наращиваемого слоя, легирующей примеси, которая может быть донорной или акцепторной, и металла-растворителя, имеющего низкую температуру плавления и хорошо растворяющего материал подложки (Ga, Sn, Pb). Процесс проводят в атмосфере азота и водорода (для восстановления оксидных плёнок на поверхности подложек и расплава) или в вакууме после предварительного восстановления поверхностной оксидной плёнки. Расплав наносится на поверхность подложки (например, GaAs(100)), частично растворяя её и удаляя загрязнения и дефекты. После выдержки при максимальной температуре около 1200 K система медленно охлаждается, расплав из насыщенного состояния переходит в пересыщенное, и избыток полупроводника осаждается на подложку, играющую роль затравки.
Основные факторы, влияющие на качество и свойства эпитаксиальных слоев, - это начальная равновесная температура расплава и скорость его охлаждения, соотношение объема расплава и площади контакта поверхности подложки с расплавом, природа растворителя и растворимого вещества, состояние поверхности подложки. Эпитаксиальный рост полупроводниковых гетероструктур из жидкой фазы дает некоторые преимущества в сравнении с газофазной эпитаксией при получении сильнолегированных слоев и p-n переходов.
- Авторы
- Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
- Ссылки
- Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. - Москва: Наука-Физматлит, 2007 - 416 с.
- Иллюстрации
Внешний вид установки жикофазной эпитаксии фирмы “Cyberstar” для выращивания пленок полупроводниковых твердых растворов
- Теги
- Разделы
- Эпитаксиальные слои
Технология
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») - Термин
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.