осаждение атомных слоев


осаждение атомных слоев
Термин
осаждение атомных слоев
Термин на английском
atomic layer deposition
Синонимы
атомно-слоевое осаждение, молекулярное наслаивание, atomic layer epitaxy
Аббревиатуры
ALD, ALE
Связанные термины
нанослой
Определение

технология нанесения тонких пленок, основанная на последовательном использовании самоограниченных химических реакций в газовой фазе для точного контроля толщины нанесенного слоя

Описание

В большинстве технологий осаждения атомных слоев используют два химических соединения, которые называют прекурсорами. Эти прекурсоры реагируют с поверхностью поочередно, сначала один, затем другой, что приводит к формированию тонкой пленки.

Технология осаждения атомных слоев, изначально названная эпитаксия атомных слоев, была открыта в 1977 году Туомо Сунтола (Tuomo Suntola) в университете г. Хельсинки в Финляндии. Эта технология во многом похожа на химическое осаждение из газовой фазы. Отличие состоит в том, что в технологии осаждения атомных слоев используют две отдельные химические реакции, в которых прекурсоры не соприкасаются. Разделение прекурсоров обеспечивается продувкой азотом или аргоном. Поскольку используются самоограниченные реакции, суммарная толщина слоев определяется не продолжительностью реакции, а количеством циклов, и толщину каждого слоя удается контролировать с очень высокой точностью.

Технология осаждения атомных слоев используется для нанесения пленок нескольких типов, включая пленки различных оксидов (Al2O3, TiO2, SnO2, ZnO, HfO2), нитридов (TiN, TaN, WN, NbN), металлов (Ru, Ir, Pt) и сульфидов (например, ZnS). К сожалению, пока не существует достаточно дешевых технологий выращивания таких технологически важных материалов, как Si, Ge, Si3N4, некоторых многокомпонентных оксидов.

Авторы
  • Наймушина Дарья Анатольевна
  • Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. Atomic layer deposition / Wikipedia, the Free Encyclopedia URL: http://en.wikipedia.org/wiki/Atomic_layer_deposition
  2. Atomic layer epitaxy / Wikipedia, the Free Encyclopedia URL: http://en.wikipedia.org/wiki/Atomic_layer_epitaxy
Иллюстрации
ALD - техн

ALD - технология нанесения тонких пленок, основанная на последовательном использовании самоограниченных химических реакций. 


Источник: Parsons Research Group / http://www.che.ncsu.edu/thinfilm/ald.html

Теги
Разделы
Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "осаждение атомных слоев" в других словарях:

  • химическое осаждение из газовой фазы — Термин химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском chemical vapour deposition Синонимы химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition Аббревиатуры CVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин — ПодразделыПоликристаллические слоиЭпитаксиальные слоиСтатьиабляцияадсорбциябиосовместимые покрытиягетероэпитаксиягомоэпитаксиязародышеобразованиекриоконденсациямеханизм роста Странского Крастановамеханизм роста Франка – Ван дер Мерве …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • тонкие пленки — Термин тонкие пленки Термин на английском thin films Синонимы Аббревиатуры Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, квантовая яма, осаждение атомных слоев, плазменно химическое осаждение из газовой фазы, поверхность, подложка,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • нанослой — Термин нанослой Термин на английском nanolayer Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биосовместимые покрытия, бислой, липосома, нанообъект, осаждение атомных слоев, расслаивание, самособирающиеся монослои, технология Лэнгмюра Блоджетт… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • ПРОМЫШЛЕННЫХ ОТХОДОВ ПЕРЕРАБОТКА — удаление бесполезных либо вредных материалов, образующихся в ходе промышленного производства. Отходы вырабатываются практически на каждой стадии промышленного технологического процесса. Степень опасности промышленных отходов изменяется от таких… …   Энциклопедия Кольера

  • Лазерная абляция — У этого термина существуют и другие значения, см. Абляция. Лазерная абляция (англ. laser ablation)  метод удаления вещества с поверхности лазерным импульсом. При низкой мощности лазера вещество испаряется или сублимируется в виде… …   Википедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»

We are using cookies for the best presentation of our site. Continuing to use this site, you agree with this.