Фотошаблон

Фотошаблон
Пример рисунка фотошаблона для микроэлектроники. Видны вспомогательные структуры для коррекции дифракции.

Фотошабло́н — стеклянная или иная пластина либо полимерная пленка со сформированным на ее поверхности рисунком элементов схем из материала, не пропускающего актиничное излучение.

Фотошаблон является одним из основных инструментов при создании заданного рельефного защитного покрытия при проведении фотолитографии в планарной технологии. В зависимости от материала пленочного покрытия различают фотошаблоны на основе:

  • фотографической эмульсии (эмульсионные фотошаблоны)
  • металлической пленки (металлические фотошаблоны)
  • окиси железа (цветные фотошаблоны)

Содержание

Типы фотошаблонов

Негативный фотошаблон (темнопольный) — фотошаблон, на котором изображение элементов схемы представлено в виде светлых участков на непрозрачном фоне.

Позитивный фотошаблон (светлопольный) — фотошаблон, на котором изображение элементов схемы представлено в виде непрозрачных для актиничного излучения участков на светлом прозрачном фоне.

Металлизированный фотошаблон — фотошаблон, на котором изображение элементов схемы сформировано тонкой металлической пленкой.

Транспарентный (цветной) фотошаблон — фотошаблон, на котором изображение элементов схем сформировано покрытием, не пропускающим актиничное излучение и пропускающим неактиничное (видимая область спектра) для фоторезиста излучение.

Эмульсионный фотошаблон — фотошаблон, на котором изображение элементов схемы образовано галоидо-серебряной фотографической эмульсией.

Рынок производства фотошаблонов

На ежегодной конференции SPIE, компания Photomask Technology предоставила исследование мирового рынка производства фотошаблонов для микроэлектроники. По состоянию на 2009 год крупнейшими производителями были:[1]

Многие крупнейшие производители микроэлектроники, такие как Intel, GlobalFoundries, IBM, NEC, TSMC, Samsung и Micron Technology, имели либо собственные мощности по производству шаблонов, либо создавали между собой совместные предприятия для этих целей.

Стоимость создания производства фотошаблонов (так называемого Mask shop) для техпроцесса 45 нм оценивается в 200–500 млн долларов США, что создает существенные препятствия для выхода на этот рынок.

Стоимость одного фотошаблона для заказчика составляет от 1 до 10 тысяч долларов (оценки от 2007 года)[2] или до 200 тысяч (оценка SEMATECH от 2011 года)[3], в зависимости от требований. Наиболее дорогими являются фазосдвигающие маски для самых тонких техпроцессов. Для производства микросхемы требуется набор из порядка 20-30 масок различной стоимости или более[3].

Длительность изготовления и проверки одной маски от 5 до 23 дней в зависимости от использованных технологий.[4]

Одна маска по исследованиям SEMATECH, используется для изготовления приблизительно от 0,5 тыс до 5 тыс полупроводниковых пластин (wafers)[3].

Примечания

  1. Hughes, Greg; Henry Yun (2009-10-01). «Mask industry assessment: 2009». Proceedings of SPIE 7488 (1): 748803-748803-13. DOI:10.1117/12.832722. ISSN 0277786X.
  2. people.rit.edu/lffeee/LEC_MASK.pdf - Introduction to Maskmaking Dr. Lynn Fuller // Rochester Institute of Technology, Microelectronic Engineering - 2007
  3. 1 2 3 Principles of Lithography, Third Edition, SPIE Press, 2011 ISBN 978-0819483249 11.1.3 Mask costs
  4. http://books.google.ru/books?id=A3xxa40XNzIC&pg=SA8-PA5 (2005)

Литература



Wikimedia Foundation. 2010.

Синонимы:

Смотреть что такое "Фотошаблон" в других словарях:

  • фотошаблон — фотошаблон …   Орфографический словарь-справочник

  • фотошаблон — сущ., кол во синонимов: 1 • шаблон (29) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 …   Словарь синонимов

  • фотошаблон — Печатная форма трафаретной печати, изготовленная копированием фотоформы на формный материал сетку с нанесенным на нее светочувствительным слоем. Печатающие элементы полученной таким путем, печатной формы сквозные и пропускают при печатании краску …   Справочник технического переводчика

  • Фотошаблон — печатная форма способа трафаретной печати, изготовленная методом копирования фотоформы на формный материал сетку с нанесенным на нее светочувствительным слоем. Печатающие элементы полученной таким путем печатной формы сквозные и пропускают при… …   Реклама и полиграфия

  • фотошаблон —  Photomask  Фотошаблон   Пластина, прозрачная для используемого в данном процессе электромагнитного излучения, с рисунком, выполненным непрозрачным для используемого излучения красителем …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • фотошаблон — fotokaukė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photographic mask; photomask vok. photographische Maske, f; Photomaske, f rus. фотомаска, f; фотошаблон, m pranc. masque photographique, m; photomasque, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • фотошаблон — м. Шаблон, изготовленный с помощью фотографии [фотография I 1.]. Толковый словарь Ефремовой. Т. Ф. Ефремова. 2000 …   Современный толковый словарь русского языка Ефремовой

  • ФОТОШАБЛОН — (от фото... и шаблон) стеклянная пластина с нанесённым на её поверхности маскирующим слоем покрытием заданной конфигурации, непрозрачным для оптич. излучения. Используется для локального экспонирования светом поверхности подложки в процессе… …   Большой энциклопедический политехнический словарь

  • фотошаблон — Печатная форма трафаретной печати, изготовленная копированием фотоформы на формный материал – сетку с нанесенным на нее светочувствительным слоем. Печатающие элементы полученной таким путем печатной формы – сквозные и пропускают при печатании… …   Краткий толковый словарь по полиграфии

  • фотошаблон — Syn: трафарет, маска, шаблон …   Тезаурус русской деловой лексики


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»