распыление в-ва с поверхности твёрдого тела при бомбардировке его ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей и выявления структуры в-ва (ионное травление), получения в-ва в распылённом состоянии в процессах нанесения тонких металлич. покрытий на разл. материалы (стекло, ткани, бумагу, металл и т. п.).
Большой энциклопедический политехнический словарь. 2004.
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — разрушение тв. тел при бомбардировке их поверхности атомами, нонами и нейтронами (впервые наблюдалось как разрушение катода в газовом разряде). Продукты распыления атомы, положит. и отрицат. ионы, а также нейтр. и ионизиров. ат. комплексы… … Физическая энциклопедия
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — распыление материала (см.) при газовом разряде вследствие бомбардировки катода положительными ионами. В газоразрядных приборах К. р. вредное явление. Осаждение металлов посредством К. р. применяется для нанесения весьма тонких (доли микрометра)… … Большая политехническая энциклопедия
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке ее ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей … Большой Энциклопедический словарь
катодное распыление — Получение покрытия распылением материала катода при газовом разряде. [ГОСТ 9.008 82] Тематики покрытия металл. и неметалл. EN cathode sputtering DE Kathodenzerstäubung FR pulvérisation cathodique … Справочник технического переводчика
Катодное распыление — ионное распыление, разрушение отрицательного электрода (катода) в газовом разряде под действием ударов положительных ионов. В более широком смысле разрушение твёрдого вещества при его бомбардировке заряженными или нейтральными частицами.… … Большая советская энциклопедия
катодное распыление — katodinis dulkinimas statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. cathode disintegration; cathode sputtering; cathodic sputtering vok. Katodenzerstäubung, f rus. катодное распыление, n; распыление катода, n pranc. désagrégation de cathode, f;… … Fizikos terminų žodynas
катодное распыление — разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке её ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей. * * * КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ,… … Энциклопедический словарь
катодное распыление — katodinis dulkinimas statusas T sritis chemija apibrėžtis Katodo dispergavimas elektros lanke. atitikmenys: angl. cathode sputtering rus. катодное распыление … Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
катодное распыление — [cathodic sputtering] получение тонкой пленки покрытия распылением материала катода при газовом разряде; Смотри также: Распыление центробежное распыление распыление газом распыление водой … Энциклопедический словарь по металлургии
катодное распыление — Разрушение поверхностного слоя катода при электрическом разряде вследствие ударов положительных ионов о катод … Политехнический терминологический толковый словарь
