КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ


КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

       
разрушение тв. тел при бомбардировке их поверхности атомами, нонами и нейтронами (впервые наблюдалось как разрушение катода в газовом разряде). Продукты распыления — атомы, положит. и отрицат. ионы, а также нейтр. и ионизиров. ат. комплексы (кластеры).
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ1
Рис. 1. Зависимость коэфф. распыления К меди при облучении её пучком ионов Ar+ от энергии ионов ?.
Скорость К. р. характеризуют коэфф. распыления К — число ч-ц, испущенных мишенью, приходящихся на одну бомбардирующую ч-цу. При энергиях ? бомбардирующих ч-ц ниже определ. порога ?п К=0. При ?>?п К возрастает, проходит через максимум (положение к-рого зависит от рода бомбардирующих ч-ц и в-ва мишени) и убывает (рис. 1). Зависимость К от ат. номера атомов мишени Z показана на рис. 2. Величина К зависит также от угла q падения ч-ц на мишень; при увеличении q К растёт, проходит через максимум и затем убывает. В случае монокрист. мишеней на фоне возрастания К. р. наблюдаются резкие его уменьшения, когда направления бомбардировки становятся параллельными кристаллографич. осям либо плоскостям с малыми индексами кристаллографическими (рнс. 3). К. р. может зависеть также от состояния поверхности (размеров зёрен, текстуры и др.). В случае поликрист. и аморфных мишеней угл. распределение распылённого в-ва широкое. Если ? не слишком мала, то угл. распределение слабо зависит от сорта ч-ц, их энергии, направления бомбардировки и соответствует закону косинуса (число распылённых ч-ц пропорц. cos угла их вылета). При высоких энергиях угл. распределение более узкое, а при низких более широкое, чем даваемое законом косинуса. В случае монокрист. мишеней наблюдается преимуществ. выход распылённого в-ва вдоль плотно упакованных осей мишени (эффект Венера).
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ2
Рис. 2. Зависимость коэфф. распыления К от Z материала мишени в случае ионов Kr+ с энергией 400 эВ (вверху) и с энергией 45 кэВ (внизу).
Энергетич. спектр распылённых ч-ц широкий. Ср. энергии распылённых ч-ц тем меньше, чем больше коэфф. распыления.
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ3
Рис. 3. Зависимость к от угла падения q в случае крист. и аморфной германиевых мишеней, бомбардируемых ионами Ar+ с энергией 30 кэВ.
Для монокрист. мишеней ср. энергия распылённых ч-ц также зависит от кристаллографич. направления.
При бомбардировке атомами и ионами на поверхности мишени выявляются т. н. фигуры травления. Если облучение производится ионами газа, то в приповерхностном слое мишени могут образовываться пузырьки газа, что приводит к вспучиванию поверхности (б л и с т е р и н г).
К. р. используется для обработки поверхностей, в т. ч. и для получения атомно-чистых поверхностей, для анализа поверхностей методами ионно-ионной эмиссии, для получения тонких плёнок.

Физический энциклопедический словарь. — М.: Советская энциклопедия. . 1983.


.

Смотреть что такое "КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ" в других словарях:

  • КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — распыление материала (см.) при газовом разряде вследствие бомбардировки катода положительными ионами. В газоразрядных приборах К. р. вредное явление. Осаждение металлов посредством К. р. применяется для нанесения весьма тонких (доли микрометра)… …   Большая политехническая энциклопедия

  • КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке ее ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей …   Большой Энциклопедический словарь

  • катодное распыление — Получение покрытия распылением материала катода при газовом разряде. [ГОСТ 9.008 82] Тематики покрытия металл. и неметалл. EN cathode sputtering DE Kathodenzerstäubung FR pulvérisation cathodique …   Справочник технического переводчика

  • Катодное распыление —         ионное распыление, разрушение отрицательного электрода (катода) в газовом разряде под действием ударов положительных ионов. В более широком смысле разрушение твёрдого вещества при его бомбардировке заряженными или нейтральными частицами.… …   Большая советская энциклопедия

  • катодное распыление — katodinis dulkinimas statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. cathode disintegration; cathode sputtering; cathodic sputtering vok. Katodenzerstäubung, f rus. катодное распыление, n; распыление катода, n pranc. désagrégation de cathode, f;… …   Fizikos terminų žodynas

  • катодное распыление — разрушение поверхности твердого тела при бомбардировке её ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей. * * * КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ,… …   Энциклопедический словарь

  • катодное распыление — katodinis dulkinimas statusas T sritis chemija apibrėžtis Katodo dispergavimas elektros lanke. atitikmenys: angl. cathode sputtering rus. катодное распыление …   Chemijos terminų aiškinamasis žodynas

  • КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — распыление в ва с поверхности твёрдого тела при бомбардировке его ионами. Первоначально наблюдалось как разрушение катодов в электровакуумных и газоразрядных приборах. Используется для очистки поверхностей и выявления структуры в ва (ионное… …   Большой энциклопедический политехнический словарь

  • катодное распыление — [cathodic sputtering] получение тонкой пленки покрытия распылением материала катода при газовом разряде; Смотри также: Распыление центробежное распыление распыление газом распыление водой …   Энциклопедический словарь по металлургии

  • катодное распыление — Разрушение поверхностного слоя катода при электрическом разряде вследствие ударов положительных ионов о катод …   Политехнический терминологический толковый словарь

Книги

Другие книги по запросу «КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ» >>


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»

We are using cookies for the best presentation of our site. Continuing to use this site, you agree with this.