- Рентгеновская литография
Статьи
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.
Рентгеновская литография
Смотреть что такое "Рентгеновская литография" в других словарях:
Рентгеновская литография — Рентгеновская литография технология изготовления электронных микросхем; вариант фотолитографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей. Описание Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское … Википедия
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
рентгеновская литография — rentgeninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray lithography; X ray printing vok. Röntgenlithografie, f rus. рентгеновская литография, f; рентгенолитография, f pranc. lithographie aux rayons X, f … Radioelektronikos terminų žodynas
литография рентгеновская — Термин литография рентгеновская Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография Определение технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Литография — Фотография литографского камня и литографии карты … Википедия
литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем — ПодразделыМетоды нанесения элементов наноструктур и наноматериаловФизические методы (лазерные, электронно лучевые, ионно плазменные) осаждения слоев нанометровых толщинХимическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Курчатовский источник синхротронного излучения — Здание Курчатовского синхротрона. Курчатовский Источник Синхротронного Излучения (КИСИ) позволяет получать синхротронное излучение в … Википедия
Управляемые методы формирования наноструктур — ПодразделыОптическая литографияЭлектронная литографияРентгеновская литографияНаноимпринтинг и травлениеФокусированная ионная резкаПланиризация поверхности, полировкаПоверхностная иммобилизация (химическая пришивка) молекулЛокальные поверхностные… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Фотолитография — Линия фотолитографии для производства кремниевых пластин Фотолитография метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из … Википедия
