литография рентгеновская

литография рентгеновская
Термин
литография рентгеновская
Термин на английском
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
литография
Определение
технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей
Описание

Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское излучения с длиной волны 0.5-4.0 нм. Пучок рентгеновских лучей пропускается через шаблон и экспонирует слой резиста. Оптическими элементами рентгеновских литографических установок могут быть отражающие зеркала (рефлекторы) на основе наногетероструктур со слоями Ni-C, Cr-C, Co-C, Mo-C, W-C и зонные пластинки; в качестве шаблонов используются тонкие (1 мкм и меньше) металлические мембраны. Многослойные рентгеновские зеркала обеспечивают брэгговское отражение при условии d = ?/(2sin?), где d - период структуры и ? - угол скольжения. При перпендикулярном падении излучения ? = 90° и период d = ?/2, поэтому толщина каждого слоя в рентгеновском зеркале равна примерно ?/4 или 1 нм. Рентгенолитография, как и оптическая литография, осуществляется путем одновременного экспонирования большого числа деталей рисунка, но коротковолновое рентгеновское излучение позволяет создавать рисунок с более тонкими деталями и более высоким разрешением.

Авторы
  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и дополненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
Иллюстрации
Теги
Разделы
Рентгеновская литография
Управляемые методы формирования наноструктур
Технология

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Игры ⚽ Поможем написать курсовую

Полезное


Смотреть что такое "литография рентгеновская" в других словарях:

  • Рентгеновская литография — Рентгеновская литография  технология изготовления электронных микросхем; вариант фотолитографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей. Описание Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское …   Википедия

  • РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… …   Физическая энциклопедия

  • Литография — Фотография литографского камня и литографии  карты …   Википедия

  • литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • рентгеновская литография — rentgeninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray lithography; X ray printing vok. Röntgenlithografie, f rus. рентгеновская литография, f; рентгенолитография, f pranc. lithographie aux rayons X, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Рентгеновская литография — Статьилитографиямикроморфология (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем — ПодразделыМетоды нанесения элементов наноструктур и наноматериаловФизические методы (лазерные, электронно лучевые, ионно плазменные) осаждения слоев нанометровых толщинХимическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • синхротронное излучение — Термин синхротронное излучение Термин на английском synchrotron radiation Синонимы магнитотормозное излучение Аббревиатуры СИ Связанные термины EXAFS, XAFS Определение тормозное излучение, испускаемое релятивистскими заряженными частицами в… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Управляемые методы формирования наноструктур — ПодразделыОптическая литографияЭлектронная литографияРентгеновская литографияНаноимпринтинг и травлениеФокусированная ионная резкаПланиризация поверхности, полировкаПоверхностная иммобилизация (химическая пришивка) молекулЛокальные поверхностные… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Курчатовский источник синхротронного излучения — Здание Курчатовского синхротрона. Курчатовский Источник Синхротронного Излучения (КИСИ) позволяет получать синхротронное излучение в …   Википедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»