- Оптическая литография
Статьи
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.
Оптическая литография
Смотреть что такое "Оптическая литография" в других словарях:
оптическая литография — Optical Lithography Оптическая литография Технология, использующая линзы и свет для точного проецирования и экспонирования изображения маски на покрытую фоторезистом полупроводниковую пластину … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
литография рентгеновская — Термин литография рентгеновская Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография Определение технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
литография оптическая — Термин литография оптическая Термин на английском optical lithography Синонимы фотолитография, photolitigraphy Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, литография, фоторезист Определение … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Литография — Фотография литографского камня и литографии карты … Википедия
литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Рентгеновская литография — Рентгеновская литография технология изготовления электронных микросхем; вариант фотолитографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей. Описание Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское … Википедия
лаборатория на чипе — Термин лаборатория на чипе Термин на английском lab on a chip Синонимы микросистемы полного анализа, micro total analysis systems Аббревиатуры LOC, µTAS Связанные термины актуатор, биологические моторы, биомедицинские микроэлектромеханические… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
микроморфология — Термин микроморфология Термин на английском micromorphology Синонимы Аббревиатуры Связанные термины агрегат, зерно, кристаллит, макропоры, межзеренная граница, мезопоры, микропоры, морфология, морфология наноструктур, агломерат Определение… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Управляемые методы формирования наноструктур — ПодразделыОптическая литографияЭлектронная литографияРентгеновская литографияНаноимпринтинг и травлениеФокусированная ионная резкаПланиризация поверхности, полировкаПоверхностная иммобилизация (химическая пришивка) молекулЛокальные поверхностные… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем — ПодразделыМетоды нанесения элементов наноструктур и наноматериаловФизические методы (лазерные, электронно лучевые, ионно плазменные) осаждения слоев нанометровых толщинХимическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
