ионная имплантация


ионная имплантация
Термин
ионная имплантация
Термин на английском
ion implantation
Синонимы
ионное внедрение, ионное легирование
Аббревиатуры
Связанные термины
биосовместимые покрытия
Определение
введение примесных атомов в твердое тело путем его бомбардировки ускоренными ионами.
Описание
При ионной бомбардировке твердых тел, наряду с процессами распыления поверхности, ионно-ионной эмиссии, образования радиационных дефектов и др., происходит проникновение ионов вглубь бомбардируемого объекта (мишени). Наиболее широко ионная имплантация применяется для легирования полупроводников с целью создания p-n переходов, гетеропереходов, низкоомных контактов. Ионную имплантацию в металлы применяют с целью повышения их твердости, износоустойчивости, коррозионной стойкости и т.д. Ионная бомбардировка высокотемпературных сверхпроводников семейства RBa2Cu3Ox может использоваться для создания высокоэффективных центров пиннинга и значительного увеличения плотности критического тока.
Авторы
  • Наймушина Дарья Анатольевна
Ссылки
  1. Ионная имплантация / Физическая Энциклопедия: т.2 в 5 т., М.: "Советская энциклопедия", 1990 - С. 197 - 199
Иллюстрации
модифицированный поверхностный слой керамики

модифицированный поверхностный слой керамики


Источник: http://www.irishscientist.ie/2001/contents.asp?contentxml=01p241.xml&contentxsl=IS01pages.xsl

Теги
Разделы
Плазмохимическое, ионно- и электронно-лучевое модифицирование поверхности

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "ионная имплантация" в других словарях:

  • ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твёрдое тело бомбардировкой его поверхности ускореннымиионами. При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, ионно ионной эмиссии, образования… …   Физическая энциклопедия

  • ионная имплантация — Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. [http://www.manual steel.ru/eng a.html] ионная имплантация Средство для введения… …   Справочник технического переводчика

  • ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твердое тело при бомбардировке его поверхности направленным пучком ускоренных ионов. Широко применяется в технологии микроэлектроники для создания p n переходов, гетеропереходов и …   Энциклопедический словарь

  • Ионная имплантация — Схема установки для ионной имплантации и селекции ионов по энергии. Ионная имплантация  способ введения атомов примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки ег …   Википедия

  • Ионная имплантация — 7. Ионная имплантация процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки. Это определение включает также процессы, в которых ионная… …   Официальная терминология

  • Ионная имплантация — Ion implantation Ионная имплантация. Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. (Источник: «Металлы и сплавы. Справочник.» Под… …   Словарь металлургических терминов

  • ионная имплантация —  Ion Implantation  Ионная имплантация   Способ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • ионная имплантация — joninė implantacija statusas T sritis chemija apibrėžtis Priemaišų atomų įterpimas į kietąjį kūną bombarduojant jo paviršių pagreitintų jonų srautu. atitikmenys: angl. ionic implantation rus. ионная имплантация …   Chemijos terminų aiškinamasis žodynas

  • ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — см. Легирование …   Химическая энциклопедия

  • ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — специальная модификация генерального процесса, в котором плазменный или ионный используется для ионизации материала наносимых покрытий, а отрицательное смещение (заряд) изделия способствует осаждению составляющих покрытия из плазмы …   Словарь понятий и терминов, сформулированных в нормативных документах российского законодательства

Книги

Другие книги по запросу «ионная имплантация» >>


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»

We are using cookies for the best presentation of our site. Continuing to use this site, you agree with this.