фокусированный ионный пучок

Термин

фокусированный ионный пучок

Термин на английском

focused ion beam

Синонимы

Аббревиатуры

FIB

Связанные термины

Определение

концентрированный поток ионов, который используют в современных исследовательских приборах и технике для интенсивной и прецизионной обработки разных материалов

Описание

При получении и обработке неорганических материалов применяются жёсткие методы ионизации вещества, поскольку энергии связи атомов в твёрдом теле весьма велики, и для разрыва этих связей с образованием ионов необходимо еще более высокоэнергетическое воздействие.

Среди методов ионизации следует отметить:

• ионизацию в индуктивно-связанной плазме (ICP);
• термоионизацию или поверхностная ионизацию;
• ионизацию в тлеющем разряде и искровую ионизацию (см. искровой разряд);
• ионизацию в процессе лазерной абляции.

В современной практике для получения нано/микроструктур широко используются жидкометаллические ионные источники (Ga⁺). Все большее распространение получают приборы с гелиевыми источниками. Для фокусировки ионного пучка используют электромагнитные линзы.

Использование фокусированных ионных пучков лежит в основе работы ионных микроскопов, приборов для прецизионной ионной резки и травления материалов, масс-спектрометров, адронных коллайдеров и др.

Авторы

• Вересов Александр Генрихович, к.х.н.
• Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.

Ссылки

1. Сфокусированный ионный пучок как инструмент наноскульптора / © 2004—2009 Nanonewsnet.ru URL: http://www.nanonewsnet.ru/articles/2008/sfokusirovannyi-ionnyi-puchok-kak-instrument-nanoskulptora
2. Черезова Л.А. Ионно-лучевые методы в оптической технологии: Учебное пособие. - СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. - 151 с.
3. Handbook of microscopy for nanotechnology / edited by Nan Yao, Zhong Lin Wang.- Boston: Kluwer Academic Publishers, 2005.- 731 p.

Иллюстрации

Теги

Разделы

Фокусированная ионная резка
Наноимпринтинг и травление
Прецизионная обработка поверхности сложной формы
Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)

(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)