- Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)
Статьи
- диэлектрик
- лаборатория на чипе
- литография
- микроморфология
- нанометр
- нанофотоника
- оптический пинцет
- фокусированный ионный пучок
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.