- магнетронное распыление
-
magnetron sputtering
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
Магнетронное распыление — Магнетронное распыление это технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью магнетрона. Основы технологии Принцип магнетронного распыления основан на образовании над поверхностью катода кольцеобразной плазмы в результате… … Википедия
магнетронное распыление — magnetroninis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. magnetron sputtering vok. magnetronartige Zerstäubung, f rus. магнетронное распыление, n pranc. pulvérisation magnétronique, f … Radioelektronikos terminų žodynas
Вакуумно-дуговое нанесение покрытий — (катодно дуговое осаждение) это физический метод нанесения покрытий (тонких плёнок) в вакууме, путём конденсации на подложку (изделие, деталь) материала из плазменных потоков, генерируемых на катоде мишени в катодном пятне вакуумной дуги… … Википедия
magnetron sputtering — magnetroninis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. magnetron sputtering vok. magnetronartige Zerstäubung, f rus. магнетронное распыление, n pranc. pulvérisation magnétronique, f … Radioelektronikos terminų žodynas
magnetronartige Zerstäubung — magnetroninis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. magnetron sputtering vok. magnetronartige Zerstäubung, f rus. магнетронное распыление, n pranc. pulvérisation magnétronique, f … Radioelektronikos terminų žodynas
magnetroninis dulkinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. magnetron sputtering vok. magnetronartige Zerstäubung, f rus. магнетронное распыление, n pranc. pulvérisation magnétronique, f … Radioelektronikos terminų žodynas
pulvérisation magnétronique — magnetroninis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. magnetron sputtering vok. magnetronartige Zerstäubung, f rus. магнетронное распыление, n pranc. pulvérisation magnétronique, f … Radioelektronikos terminų žodynas
НАПЫЛЕНИЕ ВАКУУМНОЕ — нанесение пленок или слоев на пов сть деталей или изделий в условиях вакуума (1,0 1 Х 10 7 Па). Н. в. используют в планарной технологии полупроводниковых микросхем, в произ ве тонкопленочных гибридных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники … Химическая энциклопедия
Магратрон — Магратрон это магнетронное распылительное устройство, использующееся при напылении тонких плёнок на подложку. Слог «Маг» сокращённо означает магнетронное, «ра» распылительное, «трон» электроразрядное устройство. Принцип работы… … Википедия