Магратрон

Магратрон

Магратрон — это магнетронное распылительное устройство, использующееся при напылении тонких плёнок на подложку. Слог «Маг» сокращённо означает магнетронное, «ра» — распылительное, «трон» — электроразрядное устройство.

Принцип работы устройства основан на эффекте возникновения над поверхностью катода кольцеобразной зоны плазмы в результате столкновения электронов с молекулами газа. Положительные ионы, образующиеся в разряде, ускоряются в направлении катода, бомбардируют его поверхность в зоне эррозии, выбивая из неё частицы материала.

Покидающие поверхность мишени частицы осаждаются в виде плёнки на подложке, а также частично рассеиваются на молекулах остаточных газов и осаждаются на стенках рабочей вакуумной камеры.

При бомбардировке поверхности мишени ионами проявляются 2 основных эффекта:

• Вторичная электронная эмиссия.
• Ионное(катодное) распыление материала мишени.

Такое устройство, в отличие от обычного диодного распылительного устройства, позволяет получать высокую плотность ионного тока, а значит, и высокие скорости распыления при относительно низких давлениях порядка 0,1 Па и ниже.

См. также

• Газофазная эпитаксия