термоионное осаждение
Смотреть что такое "термоионное осаждение" в других словарях:
ПЛЁНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — 1) тонкоплёночная технология совокупность способов получения и обработки тонких плёнок металлов, диэлектриков, ПП при изготовлении транзисторов, диодов, резисторов, конденсаторов и др. влементов интегральных схем, а также при иэготовленни ПП… … Большой энциклопедический политехнический словарь