ОКСИДИРОВАНИЕ

ОКСИДИРОВАНИЕ

создание оксидной пленки на пов-сти изделия или заготовки в результате окислит.-восстановит. р-ции. О. преим. используют для получения защитных и декоративных покрытий, а также для формирования ди-электрич. слоев. Различают термич., хим., электрохим. (или анодные) и плазменные методы О.

Термическое О. обычно осуществляют при нагр. изделий в атмосфере, содержащей О 2 или водяной пар. Напр., термическое О. железа и низколегир. сталей, называемое воронением, проводят в печах, нагретых до 300-350 °С, или при непосредств. нагревании изделий на воздухе, добиваясь необходимого цвета обрабатываемой пов-сти. Легир. стали термически оксидируют при более высокой т-ре (400-700 °C в течение 50-60 мин. Магнитные железоникелевые сплавы (пермаллои) оксидируют при 400-800 °С в течение 30-90 мин. Термическое О.-одна из важнейших операций пла-нарной технологии; создаваемые диэлектрич. пленки защищают готовые полупроводниковые структуры от внеш. воздействий, изолируют активные области дискретных полупроводниковых приборов и интегральных схем. Наиб. часто термическое О. применяют при изготовлении кремниевых структур. При этом Si окисляется на глубину ок. 1 мкм при 700-1200 °С. С нач. 80-х гг. в произ-ве кремниевых больших интегральных схем О. проводят при повышенном (до 107 Па) давлении О 2 или водяного пара (термокомпрессионное О.).

При химическом О. изделия обрабатывают р-рами или расплавами окислителей (нитратов, хроматов и др.). Химическое О. используют для пассивации металлич. пов-стей с целью защиты их от коррозии, а также для нанесения декоративных покрытий на черные и цветные металлы и сплавы. В произ-ве электровакуумных приборов его применяют для чернения масок цветных кинескопов и др. деталей с целью получения пов-сти с низким коэф. отражения света и высоким коэф. теплового излучения. Химическое О. черных металлов проводят в кислотных или щелочных составах при 30-100 °С. Обычно используют смеси соляной, азотной или ортофосфорной к-т с добавками соед. Мn, Ca(NO3)2 и др. Щелочное О. проводят в р-ре щелочи с добавками окислителей при 30-180 °С. Оксидные пленки на пов-сти черных металлов получают также в расплавах, состоящих из щелочи, NaNO3 и NaNO2, MnO2 при 250-300 °С. После О. изделия промывают, сушат и иногда подвергают обработке в окислителях (К 2 Сг 2 О 7) или промасливают.

Химическое О. применяют для обработки нек-рых цветных металлов. Наиб. широко распространено химическое О. изделий из магния и его сплавов в р-рах на основе К 2 Сг 2 О 7. Медные или медненные изделия окисляют в составах, содержащих NaOH и K2S2O8. Иногда химическое О. используют для О. алюминия и сплавов на его основе (дуралюми-нов). В состав р-ра входят Н 3 РО 4, СrО 3 и фториды. Однако по качеству оксидные пленки, полученные химическим О., уступают пленкам, нанесенным методом анодирования.

Электрохимическое О., или анодное О. (анодирова-ние; см. Электрохимическая обработка металлов), деталей проводят в жидких (жидкостное О.), реже в твердых электролитах. Пов-сть окисляемого материала имеет положит, потенциал. Жидкостное О. в водных и неводных р-рах электролита применяют для получения защитных, декоративных покрытий и диэлектрич. слоев на пов-сти металлов, сплавов и полупроводниковых материалов при изготовлении приборов со структурами металл-диэлектрик-полупроводник и СВЧ интегральных схем, оксидных конденсаторов, коммутац. плат на основе алюминия и др. Наиб. широко анодное О. используют для нанесения оксидных слоев на конструкции из А1 и его сплавов. При этом получают защитные (толщиной 0,3-15 мкм), износостойкие и электроизоляционные (2-300 мкм), цветные и эматаль-покрытия (эмалеподобные), а также тонкослойные (0,1-0,4 мкм) оксидные пленки. Для образования толстых оксидных слоев применяют в осн. р-ры H2SO4 и СгО 3. Тонкие оксидные пленки получают в р-рах на основе Н 3 РО 4 и Н 3 ВО 3. Цветное анодирование проводят в р-рах, содержащих орг. к-ты (щавелевую, малеиновую, сульфосалициловую и др.). Эматалъ-покрытия получают в электролитах, содержащих, как правило, СrO3. Анодирование магния и его сплавов осуществляют в р-рах, содержащих NaOH, фториды, хрома-ты металлов. Анодное О. стали проводят в р-рах щелочи или СгО 3. Методы анодного О. получают распространение в полупроводниковой технологии, особенно для получения оксидных слоев на полупроводниках типа AIIIBV, А П В VI и т. п.

Плазменное О. проводят в кислородсодержащей низкотемпературной плазме, образуемой с помощью разрядов постоянного тока, ВЧ и СВЧ разрядов. Таким способом получают оксидные слои на пов-сти кремния, полупроводниковых соед. типа AIIIBV при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем, при создании туннельных переходов на основе пленок Nb и Pb в крио-электронных интегральных схемах, а также для повышения светочувствительности серебряно-цезиевых фотокатодов. Разновидность плазменного О.-ионно-плазменное О., проводимое в высокотемпературной кислородсодержащей плазме СВЧ или дугового разряда в вакууме (ок. 1 Па) и т-ре обрабатываемой пов-сти не выше 430 °С. При таком способе О. ионы плазмы достигают пов-сти изделия с энергиями, достаточными для их проникновения в поверхностный слой и частичного его распыления. Качество оксидных пленок, полученных этим методом, сравнимо с качеством пленок, выращенных при термическом О., а по нек-рым параметрам превосходит их.

Лит.: Донован Р.-П., Смит А.-М., Берри Б.-М., Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия - эпитаксия, пер. с англ., М., 1969; Лайнер В. И., Защитные покрытия металлов, М., 1974; Технология тонких пленок. Справочник, пер. с англ., т. 1-2, М., 1977; Справочник по электрохимии, под ред. Л. М. Сухотина, Л., 1981. Ю. Н. Ивлиев.


Химическая энциклопедия. — М.: Советская энциклопедия. . 1988.

Синонимы:

Смотреть что такое "ОКСИДИРОВАНИЕ" в других словарях:

  • Оксидирование — Оксидирование  создание оксидной плёнки на поверхности изделия или заготовки в результате окислительно восстановительной реакции. Оксидирование преимущественно используют для получения защитных и декоративных покрытий, а также для… …   Википедия

  • оксидирование — оксидировка, эматалирование, окисление, воронение Словарь русских синонимов. оксидирование сущ., кол во синонимов: 8 • автооксидирование (1) • …   Словарь синонимов

  • ОКСИДИРОВАНИЕ — (от нем. oxydieren окислять) преднамеренное окисление поверхности металлов и полупроводниковых материалов химическим, электрохимическим (анодирование) или другим способом. Образующаяся оксидная пленка играет защитную (пассивирование),… …   Большой Энциклопедический словарь

  • ОКСИДИРОВАНИЕ — ОКСИДИРОВАНИЕ, оксидирования, мн. нет, ср. (спец.). Действие по гл. оксидировать; поверхностное окисление металлов. Толковый словарь Ушакова. Д.Н. Ушаков. 1935 1940 …   Толковый словарь Ушакова

  • оксидирование — ОКСИДИРОВАТЬ, рую, руешь; анный; сов. и несов., что (спец.). Подвергнуть ( гать) искусственному окислению (поверхность металлического изделия для предохранения от коррозии или для придания красивого внешнего вида). Толковый словарь Ожегова. С.И.… …   Толковый словарь Ожегова

  • ОКСИДИРОВАНИЕ — поверхностное окисление металла с целью предохранения его от разъедания ржавчиною; достигается обыкновенно покрытием его тонким слоем закись окиси (магнитной окиси) железа. Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка. Павленков Ф …   Словарь иностранных слов русского языка

  • оксидирование — Обработка основного покрываемого металла и (или) покрытия химическим или электрохимическим способом, в результате которой на его поверхности образуется оксидная пленка. [ГОСТ 9.008 82] Тематики покрытия металл. и неметалл. EN oxidation DE… …   Справочник технического переводчика

  • ОКСИДИРОВАНИЕ — преднамеренная обработка хим. или электрохимическим способом поверхности металлических изделий с образованием на них защитной плёнки из (см.) с целью предохранения металла от коррозии или придания изделиям красивого внешнего вида …   Большая политехническая энциклопедия

  • Оксидирование — [oxidation] получение защитных покрытий на металлах в результате химического или электрохимического образования слоя собственных оксидов. Оксидирование сталей, так называемое воронение, сводится к образованию поверхностных слоев оксидов железа… …   Энциклопедический словарь по металлургии

  • Оксидирование — или поверхностное окисление металлов употребляется для практических целей (предохранение от внешних влияний) или же с целью придать поверхности предмета ту или иную окраску. Очень часто неправильно называют О. окрашивание металлов, хотя и… …   Энциклопедический словарь Ф.А. Брокгауза и И.А. Ефрона

  • оксидирование — см. Оксидировать. * * * оксидирование (от нем. oxydieren  окислять), преднамеренное окисление поверхности металлов и полупроводниковых материалов химическим, электро химическим (анодирование) или другим способом. Образующаяся оксидная плёнка… …   Энциклопедический словарь

Книги

Другие книги по запросу «ОКСИДИРОВАНИЕ» >>


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»