ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ это:

ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
ЭЛЛИПСОМЕТРИ́Я, совокупность методов изучения поверхностей жидких и твердых тел по состоянию поляризации светового пучка, отраженного этой поверхностью и преломленного на ней. Традиционно эллипсометрия используется для измерения толщины пленок, в частности эпитаксиальных в полупроводниковой практике. Для этого необходимо, чтобы отражение света от слоистой структуры сопровождалось интерференционным эффектом. Это происходит, когда падающее излучение отражается не только от границы структура-воздух, но и от границы слоев., т. е. верхний слой должен быть прозрачным в используемом интервале длин волн, а оптические постоянные верхнего слоя и подложки в данном спектральном диапазоне различны.
В эллипсометрии используется оптическая часть электромагнитного спектра широкого диапазона от далекой инфракрасной ИК-области (от 300мкм) до далекой ультрафиолетовой области (0,03 мкм), включая видимый диапазон. В каждом конкретном случае измерения обычно проводятся на одной длине волны. В качестве первичного излучения обычно используется высокопараллельное квазимонохроматическое излучение (чаще лазерное), характеризующееся узкой спектральной линией. При отражении поляризованной электромагнитной волны на границе раздела двух сред, имеющих различные оптические характеристики, меняется амплитуда и фаза электромагнитной волны.
Эллипсометрия может использоваться для измерения толщин различных поверхностных слоев с оптическими свойствами, отличными от свойств идеально отражающей подложки, например, слоев естественного окисла на поверхности кремния, нарушенных слоев после финишных процессов механической обработки, а также для определения показателя преломления различных диэлектрических покрытий.
Непосредственно на эллипсометрах измеряют, ставя в определенное положение поляризатор и анализатор ( в положение интерференционного экстремума – минимума отраженного луча), некоторые угловые величины и ( их значения получают прямо в процессе измерения) и по ним с помощью специальных номограмм или путем рассчетов определяют или толщины, или параметры верхних слоев с отличными от подложки оптическими свойствами.
Эллипсометрические измерения в видимом диапазоне длин волн света используются для оценки некоторых типов гетероструктур, например, структуры кремний-на-сапфире, поликристаллический кремний-диэлектрик-кремний, эпитаксиальные структуры феррит-гранатов, для определения параметров некоторых диэлектрических пленок.
Оптическая эллипсометрия является неразрушающим бесконтактным высокочувствительным методом, не требующим специальной подготовки образцов. Разрешающая способность метода по толщине – 1 нм.

Энциклопедический словарь. 2009.

Смотреть что такое "ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ" в других словарях:

  • ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ — совокупность методов изучения поверхностей жидких и тв. тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении …   Физическая энциклопедия

  • Эллипсометрия — Эллипсометрия  высокочувствительный и точный поляризационно оптический метод исследования поверхностей и границ раздела различных …   Википедия

  • эллипсометрия — Термин эллипсометрия Термин на английском ellipsometry Синонимы Аббревиатуры Связанные термины протеомика Определение Метод исследования свойств вещества на границе (поверхности) раздела различных сред и происходящих в нем явлений (адсорбции,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ — метод исследования св в границы (пов сти) раздела разл. сред и происходящих на ней явлений (адсорбция, окисление и др.) по параметрам эллиптич. поляризации отраженного света. При отражении монохроматич. плоскополяризов. света, падающего под углом …   Химическая энциклопедия

  • эллипсометрия —  Ellipsometry  Эллипсометрия   Оптический метод исследования строения и определения параметров межфазных границ, основанный на анализе изменения состояния поляризации света при его взаимодействии с поверхностью (межфазной границей). Хотя такие… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Elipse poliarizuotos šviesos atspindžio tyrimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Elipse poliarizuotos šviesos poliarizacijos laipsnio matavimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Optiškai poliarizuoto šviesos pluošto, tam tikru būdu atsispindėjusio nuo paviršiaus, elipsiškumo pokyčio matavimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f… …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis chemija apibrėžtis Tarpfazinės ribos savybių tyrimo metodas, besiremiantis elipsiškai poliarizuotos šviesos atspindžio nagrinėjimu. atitikmenys: angl. ellipsometry rus. эллипсометрия …   Chemijos terminų aiškinamasis žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Fizikos terminų žodynas

Книги



Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»