эллипсометрия это:

эллипсометрия
Термин
эллипсометрия
Термин на английском
ellipsometry
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
протеомика
Определение
Метод исследования свойств вещества на границе (поверхности) раздела различных сред и происходящих в нем явлений (адсорбции, окисления и т. д.) по изменению параметров эллиптической поляризации отраженного света.
Описание

Основная область применения эллипсометрии - исследование оптических свойств материалов. Это включает в себя измерения оптических постоянных тонких (например, оксидных) пленок, а также их толщин в диапазоне, существенно меньшем длины волны света. Интерес к эллипсометрии возрос в 70-80-х гг. 20 в. в связи с особым значением, которое стали придавать анализу структуры, изучению физико-химических свойств и контролю чистоты поверхностей вследствие быстрого развития твердотельной (прежде всего, полупроводниковой) электроники. Эллипсометрия используется также для исследования адсорбции в глубоком вакууме на плоских поверхностях металлов, адсорбции полимеров на границе жидкость-газ и жидкость-жидкость, процессов катализа на микроуровне, свойств верхних слоев поверхностей, подвергнутых коррозии, в электрохимии для изучения окисления электродов, в микробиологии - для исследования оболочек клеток и липидных мембран и др.

Достоинствами эллипсометрии являются простота и быстрота измерений (имеются автоматические эллипсометры), возможность производить их в ходе процесса (in situ), в вакууме, при высоких температурах, в агрессивных средах; кроме того, при экспериментах поверхности не загрязняются и не разрушаются. Главный недостаток метода - трудность правильного выбора модели отражающей системы и интерпретации результатов измерений. Поэтому наиболее перспективно сочетание эллипсометрии с другими методами исследования поверхности, например с оже-спектроскопией, УФ и рентгеновской спектроскопией, методами дифракции электронов и рассеяния ионов.

Авторы
  • Вересов Александр Генрихович, к.х.н.
Ссылки
  1. эллипсометрия/Химическая энциклопедия. - М.:Советская энциклопедия, 1995.- http://www.chemport.ru/chemical_encyclopedia_article_4526.html
Иллюстрации
Теги
Разделы
Оптический контроль (профилометрия, флуоресценция, эллипсометрия, конфокальная микроскопия)

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "эллипсометрия" в других словарях:

  • ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ — ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ, совокупность методов изучения поверхностей жидких и твердых тел по состоянию поляризации светового пучка, отраженного этой поверхностью и преломленного на ней. Традиционно эллипсометрия используется для измерения толщины пленок, в… …   Энциклопедический словарь

  • ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ — совокупность методов изучения поверхностей жидких и тв. тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении …   Физическая энциклопедия

  • Эллипсометрия — Эллипсометрия  высокочувствительный и точный поляризационно оптический метод исследования поверхностей и границ раздела различных …   Википедия

  • ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ — метод исследования св в границы (пов сти) раздела разл. сред и происходящих на ней явлений (адсорбция, окисление и др.) по параметрам эллиптич. поляризации отраженного света. При отражении монохроматич. плоскополяризов. света, падающего под углом …   Химическая энциклопедия

  • эллипсометрия —  Ellipsometry  Эллипсометрия   Оптический метод исследования строения и определения параметров межфазных границ, основанный на анализе изменения состояния поляризации света при его взаимодействии с поверхностью (межфазной границей). Хотя такие… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Elipse poliarizuotos šviesos atspindžio tyrimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Elipse poliarizuotos šviesos poliarizacijos laipsnio matavimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Optiškai poliarizuoto šviesos pluošto, tam tikru būdu atsispindėjusio nuo paviršiaus, elipsiškumo pokyčio matavimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f… …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis chemija apibrėžtis Tarpfazinės ribos savybių tyrimo metodas, besiremiantis elipsiškai poliarizuotos šviesos atspindžio nagrinėjimu. atitikmenys: angl. ellipsometry rus. эллипсометрия …   Chemijos terminų aiškinamasis žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Fizikos terminų žodynas

Книги



Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»