электроразрядный насос
1магнитный электроразрядный насос — ионно геттерный насос, в котором поглощающая поверхность непрерывно восстанавливается путём распыления геттера электрическим разрядом в магнитном поле. Остаточное давление ниже 10 нПа. * * * МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС МАГНИТНЫЙ… …
2МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС — ионно геттерный насос, в котором поглощающая поверхность непрерывно возобновляется путем распыления геттера электрическим разрядом в магнитном поле. Остаточное давление ниже 10 нПа …
3магнитный электроразрядный насос — 3.11 магнитный электроразрядный насос (sputter ion pump): Геттерно ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле. Источник: ГОСТ Р 52615 2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования… …
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
4магнитный электроразрядный вакуумный насос — Геттерно ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле. [ГОСТ 5197 85] Тематики вакуумная техника EN sputter ion pump DE Ionenzerstäuberpumpe FR pompe ionique à pulvérisation …
5СОРБЦИОННЫЙ НАСОС — вакуумный насос. в к ром откачка происходит вследствие сорбции газа. Разновидностями С. н. являются адсорбционный, геттерный (напр., испарительно геттерный, геттерно ионный, магнитный электроразрядный) и криогенный вакуумные насосы …
6ГОСТ Р 52615-2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы — Терминология ГОСТ Р 52615 2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы оригинал документа: 3.1 вакуум (vacuum): Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного. Примечание Давление… …
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
