растровая оже-электронная спектроскопия
1ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ — физ. методы исследования и локального анализа пов сти твердых тел с помощью пучка сфокусированных электронов (зонда). Пучки электронов получают с помощью электронной пушки вакуумного устройства, обычно диода, в к ром электроны вылетают из катода… …
2ЛОКАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ — определение хим. состава микрообъемов или тонких слоев твердого тела. Осн. метрологич. характеристика локальность, т. е. площадь или объем области, в к рой возможно обнаружение или определение хим. элемента с заданной погрешностью. Размер этой… …
