плазменное удаление слоя
1Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог …
2ТРАВЛЕНИЕ — химическое, удаление части поверхностного слоя монокристалла, заготовки или изделия с помощью топохим. р ций. Проводится с использованием р ров, расплавов, газов (газовое Т.) или активир. газов (напр., плаз мохимическое Т.). Собственно химическое …
