нанесения покрытий физико-химическим осаждением из газовой фазы
1определение — 2.7 определение: Процесс выполнения серии операций, регламентированных в документе на метод испытаний, в результате выполнения которых получают единичное значение. Источник …
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
