в твёрдые тела при ионной бомбардировке
1ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ — совокупность методов исследования с помощью электронных микроскопов (МЭ) микроструктур тел (вплоть до атомно молекулярного уровня), их локального состава и локализованных на поверхностях или в микрообъёмах тел электрич. и магн. полей… …
2Электронная микроскопия — совокупность методов исследования с помощью электронных микроскопов (См. Электронный микроскоп) (МЭ) микроструктуры тел (вплоть до атомно молекулярного уровня), их локального состава и локализованных на поверхностях или в микрообъёмах тел …