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11Röntgenlithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …
12Miniaturisierung: Von der Elektronenröhre zum Mikrochip — Das sicherlich den meisten Menschen am besten vertraute Beispiel einer fortwährenden Miniaturisierung von Bauteilen ist die Mikroelektronik und hier vor allem die Computertechnik. Komplizierte oder langwierige Berechnungen durch mechanische… …
13Immersionslithografie — Bei der Immersionlithographie, durchquert das Licht von oben ein System von Linsen (1.) und einen dünnen Flüssigkeitsfilm (2.; im Beispiel Wasser) bevor es den Fotolack auf der Oberseite des Wafers (3.) erreicht. Die Immersionslithografie ist… …
14EUV-Lithografie — (auch kurz EUVL) ist ein Fotolithografie Verfahren, das elektromagnetische Strahlung mit einer Wellenlänge von 13,5 nm (91,82 eV) nutzt, sogenannte extrem ultraviolette Strahlung (englisch extreme ultra violet, EUV). Dies soll es… …
15Lift-off-Verfahren — Das Lift off Verfahren (englisch lift off technique oder auch pattern transfer technique, dt. ‚Musterübertragungstechnik‘) ist in der Halbleiter und Mikrosystemtechnik ein Herstellungsverfahren von strukturierten dünnen Schichten auf der… …
16Maske — Mas|ke [ maskə], die; , n: 1. a) etwas, was man vor dem Gesicht trägt, um nicht erkannt zu werden: er trug beim Faschingsball die Maske eines Teufels; die Maske ablegen, abnehmen. Syn.: ↑ Larve. Zus.: Fastnachtsmaske, Teufelsmaske. b) mithilfe… …
17EUV-Lithographie — EUV Lithografie (auch kurz EUVL, Abkürzung für engl.: Extreme Ultra Violet) ist ein Fotolithografie Verfahren, das Strahlung mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometer (91,82 eV) nutzt (vgl. Ultraviolettstrahlung). Dies soll es ermöglichen, auch… …
18EUVL — EUV Lithografie (auch kurz EUVL, Abkürzung für engl.: Extreme Ultra Violet) ist ein Fotolithografie Verfahren, das Strahlung mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometer (91,82 eV) nutzt (vgl. Ultraviolettstrahlung). Dies soll es ermöglichen, auch… …
19Halbleitertechnik — Die Halbleitertechnik definiert sich historisch und aufgrund der Verwendung der Produkte als Schlüsselkomponenten in elektrotechnischen Erzeugnissen als Teilgebiet der Elektrotechnik (speziell der Mikroelektronik). Trifft man die Zuordnung… …
20Halbleitertechnologie — Die Halbleitertechik definiert sich historisch und aufgrund der Verwendung der Produkte als Schlüsselkomponenten in elektrotechnischen Erzeugnissen als Teilgebiet der Elektrotechnik. Trifft man die Zuordnung aufgrund der eingesetzten Methoden und …
