(zur wafer-belichtung)

  • 1Fotolithografie (Halbleitertechnik) — Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten. Dabei wird mittels der Belichtung das Bild einer Fotomaske auf …

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  • 2Elektronenstrahllithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …

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  • 3Fotolithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …

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  • 4Elektronenstrahllithografie — Die Elektronenstrahllithografie (ESL, englisch electron beam lithography oft als e beam lithography abgekürzt) ist in der Mikro und Halbleitertechnik ein spezielles Verfahren zur Strukturierung einer Elektronenstrahl empfindlichen Schicht… …

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  • 5Immersions-Lithografie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …

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  • 6Ionenlithografie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …

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  • 7Mikrolithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …

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  • 8Photolithografie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …

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  • 9Photolithograph — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …

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  • 10Photolithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …

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  • 11Röntgenlithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …

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  • 12Miniaturisierung: Von der Elektronenröhre zum Mikrochip —   Das sicherlich den meisten Menschen am besten vertraute Beispiel einer fortwährenden Miniaturisierung von Bauteilen ist die Mikroelektronik und hier vor allem die Computertechnik.   Komplizierte oder langwierige Berechnungen durch mechanische… …

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  • 13Immersionslithografie — Bei der Immersionlithographie, durchquert das Licht von oben ein System von Linsen (1.) und einen dünnen Flüssigkeitsfilm (2.; im Beispiel Wasser) bevor es den Fotolack auf der Oberseite des Wafers (3.) erreicht. Die Immersionslithografie ist… …

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  • 14EUV-Lithografie — (auch kurz EUVL) ist ein Fotolithografie Verfahren, das elektromagnetische Strahlung mit einer Wellenlänge von 13,5 nm (91,82 eV) nutzt, sogenannte extrem ultraviolette Strahlung (englisch extreme ultra violet, EUV). Dies soll es… …

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  • 15Lift-off-Verfahren — Das Lift off Verfahren (englisch lift off technique oder auch pattern transfer technique, dt. ‚Musterübertragungstechnik‘) ist in der Halbleiter und Mikrosystemtechnik ein Herstellungsverfahren von strukturierten dünnen Schichten auf der… …

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  • 16Maske — Mas|ke [ maskə], die; , n: 1. a) etwas, was man vor dem Gesicht trägt, um nicht erkannt zu werden: er trug beim Faschingsball die Maske eines Teufels; die Maske ablegen, abnehmen. Syn.: ↑ Larve. Zus.: Fastnachtsmaske, Teufelsmaske. b) mithilfe… …

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