(ionenimplantation)
131Oberflächentechnik — Oberflächentechnik, Gesamtheit von Verfahren, mit deren Hilfe Oberflächeneigenschaften in einem gewünschten Sinne verändert werden können. Häufig werden zur Oberflächentechnik auch Verfahren der Untersuchung und Messung (Oberflächenmessung) von …
132Piezowiderstand — Pi|ezowiderstand, Messwertaufnehmer, der bei Druck (oder Zug) seinen elektrischen Widerstand ändert. Besonders geeignet sind bestimmte Halbleitermaterialien, bei denen sich der spezifische Widerstand unter mechanischer Spannung stark ändert… …