(ionenimplantation)
111Rapid Thermal Annealing — Rapid Thermal Processing (dt.: schnelle thermische Bearbeitung) ist ein Überbegriff für die Bearbeitung von Wafern in einem Hochtemperaturprozess, bei dem eine sehr rasche Erhitzung des Wafers mit Halogenlampen erzielt wird. Inhaltsverzeichnis 1… …
112Rapid Thermal Oxidation — Rapid Thermal Processing (dt.: schnelle thermische Bearbeitung) ist ein Überbegriff für die Bearbeitung von Wafern in einem Hochtemperaturprozess, bei dem eine sehr rasche Erhitzung des Wafers mit Halogenlampen erzielt wird. Inhaltsverzeichnis 1… …
113Sputtern — Das Sputtern (aus dem Englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend… …
114Tantalnitrid — Kristallstruktur Ta3+      …
115Wolfhard Möller — (* 16. November 1944 in Barkhausen, Westfalen) ist ein deutscher Physiker. Inhaltsverzeichnis 1 Leben 2 Forschungsschwerpunkte 3 Publikationen 4 Literatur …
116Fotolithografie (Halbleitertechnik) — Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten. Dabei wird mittels der Belichtung das Bild einer Fotomaske auf …
117Gitterführungseffekt — Die Gitterführung bzw. der Gitterführungseffekt (englisch channelling) ist ein physikalisches Phänomen, das in der Ionenstrahlphysik auftritt. Es beschreibt das nahezu ungestörte Eindringen eines Ions in einen Einkristall aufgrund von… …
118High-k+Metal-Gate-Technik — Schematischer Querschnitt durch den Gate Aufbau eines Transistors in High k+Metal Gate Technik Die High k+Metal Gate Technik (HKMG Technik) bezeichnet in der Halbleitertechnik einen speziellen Aufbau von Metall Isolator Halbleiter… …
119Ionenstrahllithografie — Die Ionenstrahllithografie, oftmals abgekürzt Ionenlithografie, ist in der Halbleitertechnik ein Verfahren zu Herstellung einer strukturierten dünnen Schicht, die als Opferschicht für nachfolgende Abscheidungs , Ätzungs und Implantationsprozesse… …
120pin-Diode — Schema einer pin Diode Die pin Diode (englisch positive intrinsic negative diode) ist ein elektrisches Bauelement. Der Aufbau ist ähnlich einer pn Diode, mit dem entscheidenden Unterschied, dass sich zwischen der p und n dotierten Schicht… …
