(для пластин)
21плазменный реактор для группового оксидирования пластин — plazminis plokštelių grupinio oksidavimo reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma oxidizer; multiwafer plasma oxidizing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferoxidation, m rus. плазменный реактор… …
22кассета для регенерируемых пластин — atnaujinamųjų plokštelių kasetė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. rework cassette vok. Regenerationskassette, f rus. кассета для регенерируемых пластин, f pranc. cassette pour tranches régénérées, f …
23установка для обработки пластин — plokštelių apdorojimo įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer processor vok. Waferbearbeitungsanlage, f rus. установка для обработки пластин, f pranc. installation de traitement des tranches, f …
24оборудование для технологической обработки пластин — plokštelės apdirbimo įranga statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer processing equipment vok. Waferbearbeitungsausrüstung, f rus. оборудование для технологической обработки пластин, n pranc. équipement pour le traitement… …
25линия для обработки пластин — plokštelių apdorojimo linija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer fabrication line vok. Waferfertigungslinie, f rus. линия для обработки пластин, f pranc. ligne de fabrication des tranches, f …
26конвейерная линия для обработки пластин — konvejerinė plokštelių apdorojimo linija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafertrack line vok. Waferfertigungslinie mit Förderband, f rus. конвейерная линия для обработки пластин, f pranc. ligne de fabrication des tranches… …
27модуль для изготовления пластин — plokštelių gamybos modulis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer fabrication module vok. Waferfertigungsmodul, m rus. модуль для изготовления пластин, m pranc. module pour la fabrication des tranches, m …
28установка для контроля и сортировки пластин — plokštelių tikrinimo ir rūšiavimo įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer gaging equipment vok. Waferkontroll und Sortieranlage, f rus. установка для контроля и сортировки пластин, f pranc. équipement pour le… …
29прибор для визуального контроля пластин — plokštelių regimojo tikrinimo įtaisas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer inspector vok. Waferkontrollgerät, n rus. прибор для визуального контроля пластин, m pranc. dispositif pour inspection des tranches, m …
30микроскоп для визуального контроля пластин — plokštelių apžiūros mikroskopas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer inspection microscope vok. Waferkontrollmikroskop, n rus. микроскоп для визуального контроля пластин, m pranc. microscope pour inspection des tranches, m …