TMAH

TMAH
Тетраметиловый гидроксид аммония
Тетраметиловый гидроксид аммония: химическая формула
Общие
Систематическое наименование Тетраметиловый гидроксид аммония
Сокращения TMAH, TMAOH
Химическая формула (CH3)4NOH
Классификация
номер CAS 75-59-2
(TMAH, TMAOH) это четвертичная аммониевая соль с молекулярной формулой (CH3)4NOH. ОН испольуется как анизотропный травитель для кремния. Также испольуется как основной растворитель при производстве кислотного фоторезиста в процессе фотолитографии. Поскольку он является катализатором фазового перехода, он очень эффективен для удаления фоторезиста. Также используется как поверхностно-активное вещество при синтезе ферромагнитых жидкостей, чтобы препятствовать слипанию ее частиц.

Токсичность

Раствор TMAH является сильным основанием. Ионы тетраметилового аммония могут повреждать нервы и мышцы, приводя к затруднению дыхания и, возможно, смерти вскоре после контакта даже с с небольшим количеством вещества. Чистый TMAH практически не имеет запаха, загрязненный триметиламином (который применяется в производстве четвертичных аммониевых солей) имеет запах мертвой рыбы.

Анизотропный травитель

TMAH относится к семейству растворов четвертичных гидроксидов аммония и широко используется для анизотропного травления кремния. Типичная температура травления 70°-90°C, типичная концентрация 5 %-25 % TMAH по массе в водном растворе. Скорость травления кремния увеличивается с ростом температуры и падает с ростом концентрации TMAH. Грубость травления кремниевой поверхности увеличивается с ростом концентрации TMAH, при концентрации 20 % получается гладкая поверхность травления.

Распространенные материалы для масок при длительном травлении в TMAH включают в себя диоксид кремния (химически осаждённый из газовой фазы при пониженном давлении ) и нитрид кремния. Нитрид кремния имеет незначительную скорость травления в TMAH; скорость травления в TMAH для диоксида кремния зависит от качества пленки, но в целом имеет порядок 0.1 нм/минуту.



Wikimedia Foundation. 2010.

Полезное


Смотреть что такое "TMAH" в других словарях:

  • TMAH — Strukturformel Allgemeines Name Tetramethylammoniumhydroxid Summenformel C4H13NO …   Deutsch Wikipedia

  • TMAH — trimethylphenylammonium (anilinium) hydroxide …   Medical dictionary

  • TMAH — • trimethylphenylammonium (anilinium) hydroxide …   Dictionary of medical acronyms & abbreviations

  • Тетраметиловый гидроксид аммония — Общие Систематическое наименование Тетраметиловый гидроксид аммония Со …   Википедия

  • TMAOH — Тетраметиловый гидроксид аммония Общие Систематическое наименование Тетраметиловый гидроксид аммония Сокращения TMAH, TMAOH Химическая формула (CH3)4NOH …   Википедия

  • Тетраметиламмония гидроксид — Общие Систематическое наим …   Википедия

  • Tetramethylammonium hydroxide — chembox new ImageFile=TMAH.svg ImageSize= IUPACName=tetramethylammonium hydroxide OtherNames= Section1=Chembox Identifiers CASNo= PubChem=60966 SMILES=C [N+] (C)(C)C. [OH ] Section2=Chembox Properties C=4 | H =13 | N = 1 | O = 1 Appearance=… …   Wikipedia

  • Tetramethylammoniumhydroxid — Strukturformel Allgemeines Name Tetramethylammoniumhydroxid Summenformel …   Deutsch Wikipedia

  • Etching (microfabrication) — Etching tanks used to perform Piranha, Hydrofluoric acid or RCA clean on 4 inch wafer batches at LAAS technological facility in Toulouse, France Etching is used in microfabrication to chemically remove layers from the surface of a wafer during… …   Wikipedia

  • Microelectromechanical systems — (MEMS) (also written as micro electro mechanical, MicroElectroMechanical or microelectronic and microelectromechanical systems) is the technology of very small mechanical devices driven by electricity; it merges at the nano scale into… …   Wikipedia


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»