SMIF

SMIF
SMIF
Создатель:

Hewlett-Packard
Создан:

1980-е годы

SMIF, Standard Mechanical InterFace (Стандартный Механический ИнтерФейс) — стандарт SEMI E19-1105[1] на механическое оборудование для автоматизированных микроэлектронных производств.

История

Технология разработана в 1980-е годы в Hewlett-Packard, Пало-Альто (система «micronauts») для использования в чистых помещениях. Контейнеры SMIF (англ. SMIF Pod) служат для хранения и транспортировки нескольких полупроводниковых пластин в специальной кассете (англ. wafer cassette). Внутри контейнера поддерживается более высокая степень чистоты. Пластины располагаются горизонтально. В нижней части контейнера находится дверца, через которую кассета с пластинами загружается и выгружается из контейнера.

Целью SMIF является дополнительная изоляция пластин для предохранения их от загрязнения. Работа с контейнерами, загрузка и выгрузка пластин из них проводится автоматизированными загрузочными устройствами, являющимися частью технологического оборудования (например, степпер может иметь 2 SMIF-порта для контейнеров: один для пластин, не прошедших обработку и другой для обработанных пластин). Таким образом, загрузка пластин не требует операций, проводимых непосредственно человеком. Внутренняя среда внутри контейнера и оборудования не контактирует с внешними потоками воздуха.

Контейнеры имеют идентификационные элементы (номер, штрихкод, электронные ярлыки). Их корпус изготовлен из пластика. Для транспортировки контейнеров могут применяться люди или роботизированные системы (называемые AMHS; например, подвесные монорельсовые системы[2])

SMIF применяется при работе с пластинами диаметром до 200 мм. Для более крупных пластин (300 и 450 мм) применяется стандарт FOUP (Front Opening Unified Pod; SEMI E47.1-1106).

Кроме работы с пластинами, контейнеры могут применяться и для работы с фотолитографическими масками.

Примечания

  1. ↑ E19-1105
  2. ↑ http://www.electronics.ru/pdf/6_2008/1866.pdf « перемещение пластин между участками будет происходить в специальных SMIF-контейнерах по монорельсам»

Wikimedia Foundation. 2010.

Игры ⚽ Нужен реферат?

Полезное


Смотреть что такое "SMIF" в других словарях:

  • Smif-n-Wessun — Steele (left) and Tek Background information Also known as Cocoa Brovaz, Tek n Steele, Mr. Rippa, Mr. Vicksta Origin …   Wikipedia

  • Smif-N-Wessun — ist eine US amerikanische Hip Hop Crew aus New York. Sie ist auch bekannt unter ihrem zweiten Crewnamen Cocoa Brovaz, den sie nach einem Rechtsstreit mit dem Unternehmen Smith Wesson annehmen mussten. Aktuell nutzt die Gruppe jedoch wieder den… …   Deutsch Wikipedia

  • Smif'n'Wessun — ist eine US amerikanische Hip Hop Crew aus New York. Sie ist auch bekannt unter ihrem zweiten Crewnamen Cocoa Brovaz, den sie nach einem Rechtsstreit mit dem Unternehmen Smith Wesson annehmen mussten. Aktuell nutzt die Gruppe jedoch wieder den… …   Deutsch Wikipedia

  • Smif-N-Wessun — Alias Cocoa Brovaz Pays d’origine Brooklyn, New York Genre(s) Hip Hop, Rap Hardcore Années actives 1993 present Membres Tek Steele …   Wikipédia en Français

  • Smif n wessun — Alias Cocoa Brovaz Pays d’origine Brooklyn, New York Genre(s) Hip Hop, Rap Hardcore Années actives 1993 present Membres Tek Steele …   Wikipédia en Français

  • Smif-N-Wessun — Smif N Wessun/Cocoa Brovaz Origen Brooklyn (Nueva York, EE.UU.) Años en activo 1993 Presente Sello discográfico Duck Down Records Géne …   Wikipedia Español

  • Smif-n-Wessun — Surnom Cocoa Brovaz Pays d’origine Brooklyn, New York Genre musical Hip Hop, Rap Hardcore Années d activité 1993 present Membres Tek Steele …   Wikipédia en Français

  • Smif interface — Acronym For Standard Mechanical InterFace.An Isolation technology developed in the 1980s by group known as micronauts at Hewlett Packard in Palo Alto. The system is used in semiconductor wafer fabrication and cleanroom environments. Its purpose… …   Wikipedia

  • SMIF — Standard mechanical interface (Academic & Science » Electronics) …   Abbreviations dictionary

  • SMIF — Standard Mechanical Interface …   Acronyms


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»