Tescan

Tescan, a.s.
Год основания	1991
Расположение	Чехия: Брно
Отрасль	производство аналитического оборудования
Продукция	сканирующие электронные микроскопы
Сайт	www.tescan.com

Офис компании Tescan

Tescan, s.r.o.  — чешская компания, разрабатывающая и производящая сканирующие электронные микроскопы. Основана в 1991 году. Офис и производство компании находится в городе Брно.

В настоящее время компания Tescan производит электронные микроскопы, условно разделяемые на три серии:

• семейство микроскопов, источником электронов в которых, является вольфрамовый катод с термоэмиссией
  
• семейство микроскопов с катодом Шоттки высокой яркости
  
• сканирующие электронные микроскопы с интегрированной ионной колонной и системой инжектирования газа
  

Отдельно позиционируются специализированные модели:

• модель с интегрированной системой энергодисперсионного микроанализа
• мобильный микроскоп для использования непосредственно на производстве

Кроме того, Tescan также разрабатывает и производит:

• дополнительное оборудование для оптической и сканирующей электронной микроскопии
  
• системы детектирования
  
• системы обработки изображений
  
• электронное оборудование и программное обеспечение для сторонних научных проектов
  
• специализированные вакуумные камеры и системы
  

История компании

• 1991 В городе Брно, втором по величине городе Чехии, промышленном центре и технопарке, городе с 60 летней историей связанной с электронной микросроскопией, основывается компания Tescan. Первоначально компания работает в области перевода на цифровое управление имеющихся аналоговых микроскопов.
• 1992 Создается процессор «Satellite» для модернизации старых микроскопов для возможности накопления изображения в цифровом виде.
• 1996 Компания выпускает первый сканирующий электронный микроскоп Tescan Proxima полностью управляемый от персонального компьютера.
• 1999 Положено начало выпуску серии микроскопов VEGA с вольфрамовым катодом.
• 2000 Серия VEGA была модернизирована и добавлена возможность работы в переменном вакууме.
• 2001 На 43-й Международной Технической выставке модель VEGA TS 5130 MM получает золотую медаль.
• 2002 Выпущены модели с увеличенной камерой
• 2003 Был разработан и запатентован детектор вторичных электронов в низком вакууме – LVSTD.
• 2004 Представлена серия VEGA II – второе поколение с 8 стандартными моделями. Реализована новое устройство электронно-оптической системы с дополнительной промежуточной линзой – система Wide Field Optics™. Получен сертификат качества ISO 14001, 9001.
• 2005 Начинается производство микроскопов высокого разрешения с автоэмиссионным катодом Шоттки высокой яркости. Представлена технология In-Flight Beam Tracing™
• 2007 Анонсирована серия LYRA I FIB-SEM - сканирующий электронный микроскоп с ионной колонной. Представлена серия MIRA II с детектором In-Beam в объективной линзе. Впервые в мире реализована возможность получения «живого» стереоскопического изображения в сканирующем электронном микроскопе.
• 2008 Представлена модель LYRA I FEG сканирующий электронный микроскоп с атоэмиссионным катодом Шоттки и интегрированной ионной колонной; Представлена первая специализированная модель VEGA EasyProbe с интегрированной системой энергодисперсионного микроанализа под управлением интерфейса EasySEM.
• 2009 Закончено строительство нового здания компании. Объявлено о модернизации серий VEGA и MIRA – в скором будущем начнется выпуск серий VEGA 3 и MIRA 3; представлена модель VEGA InduSEM
• 2010 Начаты поставки микроскопов третьего поколения

Описание выпускаемой продукции

Серия VEGA

К серии VEGA относятся классические сканирующие электронные микроскопы, где в качестве источника электронов используется вольфрамовый катод. Компания Tescan немного отошла от традиционного трехлинзового устройства электронной оптики, и в настоящее время производит колонну с дополнительной промежуточной линзой IML. Такая четырехлинзовая система, называемая Wide Field Optics™, позволяет модифицировать пучок электронов и получать дополнительные режимы работы и отображения. Кроме того наличие промежуточной линзы (IML) позволяет отказаться от механического устройства для смены финальной апертуры; ограничение пучка электронов осуществляется электромагнитной системой. Компания не использует в своих изделиях паромасляные насосы, отдавая предпочтение только турбомолекуряным насосам для достижения высокого вакуума. Конструкция столиков образцов такова, что моторы расположены непосредственно в камере образцов, что позволяет увеличить надежность системы и достигать высокой точности позиционирования. Геометрия камеры и наличие интерфейсных портов позволяет интегрировать любые системы анализа.

Микроскопы серии VEGA различаются:

• По типоразмеру камеры (SB — средняя, LM — большая, XM — увеличенная).
• Возможностью работы в переменном вакууме (модели с возможностью работы только в высоком вакууме, модели для работы в переменном вакууме).
• Системой компенсации внешних вибраций (механическая, пневматическая, активная электромагнитная)
• Типом и перемещениями столиков образцов (столик с пьезо-двигателями, координатные столики с шаговыми двигателями с различными диапазонами перемещений)

Кроме того, модели различаются предустановленными детекторами и аксессуарами, а также различной функциональности программного обеспечения.

Серия MIRA

К этой серии относятся сканирующие электронные микроскопы с автоэмиссонным катодом Шоттки. Для такого типа источника электронов характерны следующие особенности: эмиссия электронов происходит из специальным образом подготовленного катода под действием электрического поля напряженностью порядка 10⁸ В/м. Вся система в области катода находится в сверхвысоком вакууме, который обеспечивается ионными насосами. Эти условия на выходе позволяют получать пучок электронов диаметром в сотни раз меньшем (порядка 20 нм), чем при использовании вольфрамового катода. В результате увеличивается разрешающая способность микроскопа, получаются изображения болей высокой контрастности с низким уровнем шумов, повышается стабильность тока пучка. Как и в серии VEGA, Tescan использует дополнительную промежуточную линзу в электронно-оптической системе, для получения дополнительных режимов работы и отображения. Также используются турбомолекулярные и спиральные безмаслянные форвакуумные насосы. Реализован детектор вторичных электронов в объективной линзе (InBeam), позволяющий достигать разрешения в 1 нм.

Микроскопы серии MIRA различаются:

• По типоразмеру камеры (LM — средние, XM — увеличенная).
• Возможностью работы в переменном вакууме (модели с возможностью работы только в высоком вакууме, модели для работы в переменном вакууме).
• Системой компенсации внешних вибраций (пневматическая или электромагнитная подвеска)
• Перемещениями столиков образцов (столики с шаговыми двигателями с различными диапазонами перемещений)

Кроме того, модели различаются предустановленными детекторами и аксессуарами, а также различной функциональности программного обеспечения.

Серия LYRA

В этой серии представлена интегрированная система сканирующего электронного микроскопа с ионной колонной (FIB), и возможности дополнения системой инжектирования газов (GIS). Различают две модели:

• LYRA I FIB-SEM, где за основу взята система сканирующего электронного микроскопа с вольфрамовым катодом и соответствующей электронно-оптической системой.

• LYRA I FEG — система где в качестве источника электроном и используется автоэмиссионный катод Шоттки, с соответствующей вакуумной и электронно-оптической системой.

Во всех системах используются ионные колоны и системы инжектирования производства компании Orsay Physics.

Возможности при работе со сфокусированным ионным пучком (FIB — focuced ion beam)

• Ионное травление — распыление атомов образца под воздействием ионного пучка попадающего на поверхность – изменение морфологии поверхности
• Ионная имплантация — внедрение ионов в поверхностные слои образца — модификация химического состава материала
• Ионное осаждение — ионы очень маленьких энергий осаждаются на поверхности — создание структур связанных с поверхностью

Возможности при работе со сфокусированным ионным пучком (FIB) в комплексе с системой инжектирования газа (GIS):

• Улучшенное травление.
• Селективное травление. Выборочное увеличение или уменьшения степени травления.
• Осаждение материала: адсорбция молекул на поверхности, осаждение атомов материала (платины, вольфрама, углерода, оксидов кремния)

Специализированные модели и новые разработки

В 2008 году компания Tescan представила модель сканирующего электронного микроскопа VEGA EasyProbe с интегрированной системой энергодисперсионного микроанализа. Модель разработана на основе микроскопа серии VEGA с вольфрамовым катодом и маленькой камерой SB. При проектировании основной упор делался на простоту эксплуатации, которая позволила бы сразу получать результаты даже неопытным пользователям и упростила бы повседневные рутинные операции:

• Разработан упрощенный интерфейс EasySEM с большим количеством автоматических настроек и самодиагностик. Как правило, он используется совместно с сенсорным монитором, позволяя получать результаты за несколько нажатий.
• Разработан интерфейс One-Touch EDX позволяющий проводить элементный анализ прямо из программного обеспечения микроскопа одним нажатием на интересующую область.
  

В 2009 году представлен микроскоп VEGA InduSEM при разработке данной модели стояла основная задача создать микроскоп позволяющий проводить контроль качества непосредственно в цехах, без отрыва от производства. Модель разработана на основе микроскопа серии VEGA с вольфрамовым катодом и расширенной камерой XM. Для обеспечения мобильности используется колесная база, влияние внешних вибраций нейтрализуется активной электромагнитной подвеской. Отсутствует стол оператора, и все управление осуществляется с сенсорного компьютера, с интерфейсом EasySEM.

Ссылки

• Официальный сайт компании
• Сайт компании на русском языке
• Эксклюзивный представитель Tescan в России и СНГ