РЕНТГЕНОВСКИЙ МИКРОАНАЛИЗАТОР

прибор для рентгеноспектрального анализа элементного состава в поверхностных слоях в-ва. Действие осн. на возбуждении характеристич. рентгеновского излучения при зондировании исследуемой поверхности сфокусиров. пучком ускоренных электронов. Р. м. состоит из электровакуумного прибора разборного типа, в к-ром формируется узкий (диам. до 1 мкм) пучок электронов (электронный зонд), рентгеновского спектрометра, разлагающего возбужденное рентгеновское излучение в спектр; блока детектора с мини-ЭВМ для обработки получ. информации. Р. м. позволяет анализировать объекты на содержание хим. элементов (от лития до урана) с миним. размерами исследуемой области до 0,01 - 0,1 мкм и относит. погрешностью 1 - 10%.