ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ

ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ

ионное внедрение, - введение посторонних атомов внутрь твёрдого тела (мишени) путём бомбардировки его поверхности ионами. Ср. глубина проникновения ионов в мишень тем больше, чем выше энергия ионов (ионы с энергиями 10 - 100 кэВ проникают на 0,01 - 1 мкм). И. л. наиболее широко используется при введении примесей в ПП монокристаллы для создания требуемой примесной электрич. проводимости. И. л. позволяет создать в ПП кристалле электронно-дырочный переход (см. р - п-переход) на малой глубине, что увеличивает, напр., предельную частоту транзисторов. См. рис.

Установка для ионного легирования: 1 - нить накала; 2 - подача ионизируемого вещества; 3 - анод; 4 - магниты; 5 - ускоритель ионов; 6 - система электростатического отклонения; 7 - мишень

Установка для ионного легирования: 1 - нить накала; 2 - подача ионизируемого вещества; 3 - анод; 4 - магниты; 5 - ускоритель ионов; 6 - система электростатического отклонения; 7 - мишень


Большой энциклопедический политехнический словарь. 2004.

Игры ⚽ Поможем написать курсовую

Смотреть что такое "ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ" в других словарях:

  • Ионное легирование — Ионное легирование  это технологическая операция введения примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки ионами примесей. Идея использования ионного пучка для легирования полупроводников (в частности,… …   Википедия

  • ионное легирование — Введение легир. атомов в тв. материал бомбардировкой ионами его поверхности; использ. для повышения электропроводности полупроводников, износостойкости стальных изделий и др. [http://metaltrade.ru/abc/a.htm] Тематики металлургия в целом EN ion… …   Справочник технического переводчика

  • ионное легирование для формирования МОП-структур — jonpluoštis MOP darinių legiravimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. MOS ion implantation vok. Ionenimplantation zur Erzeugung von MOS Strukturen, f rus. ионное легирование для формирования МОП структур, n pranc. implantation …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • ионное легирование кармана — kišenės jonų implantavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. well ion implant vok. Wannenimplantation, f rus. ионная имплантация для формирования кармана, f; ионное легирование кармана, n pranc. implantation de la cavité, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • ионное легирование — [ion alloying] введение легирующих атомов в твердый материал бомбардировкой ионами его поверхности; используется для повышения электропроводности полупроводников, износостойкости стальных изделий и др.; Смотри также: Легирование электроискровое… …   Энциклопедический словарь по металлургии

  • предварительное ионное легирование — pirminis jonų implantavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. pre implantation vok. Vorimplantation, f rus. предварительное имплантирование, n; предварительное ионное легирование, n pranc. pré implantation, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Ионное внедрение —         ионное легирование, введение посторонних атомов внутрь твёрдого тела путём бомбардировки его поверхности ионами. Средняя глубина проникновения ионов в мишень тем больше, чем больше энергия ионов (ионы с энергиями Ионное внедрение 10 100… …   Большая советская энциклопедия

  • ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ — (ионное легирование, ионная имплантация), введение посторонних атомов внутрь тв. тела бомбардировкой его поверхности ионами. Ср. глубина проникновения ионов в мишень тем больше, чем больше энергия ионов (ноны с энергиями ?и=10 100 кэВ проникают… …   Физическая энциклопедия

  • Легирование — [alloying] (от лат. ligo связываю, соединяю) целенаправленное изменение состава металлических сплавов введением легирующих элементов для изменения структуры и физико химических и механических свойств. Легирование применялось еще в глубокой… …   Энциклопедический словарь по металлургии

  • ЛЕГИРОВАНИЕ — (нем. legieren сплавлять, от лат. ligo связываю, соединяю) введение в состав металлич. сплавов т. н. легирующих элементов для изменения строения сплавов, придания нм определённых физ., хим. или механич. св в. Легирующие добавки обычно вводят в… …   Большой энциклопедический политехнический словарь


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»