Рентгеновская литография


Рентгеновская литография

Статьи


Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "Рентгеновская литография" в других словарях:

  • Рентгеновская литография — Рентгеновская литография  технология изготовления электронных микросхем; вариант фотолитографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей. Описание Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское …   Википедия

  • РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… …   Физическая энциклопедия

  • рентгеновская литография — rentgeninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray lithography; X ray printing vok. Röntgenlithografie, f rus. рентгеновская литография, f; рентгенолитография, f pranc. lithographie aux rayons X, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • литография рентгеновская — Термин литография рентгеновская Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография Определение технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Литография — Фотография литографского камня и литографии  карты …   Википедия

  • литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем — ПодразделыМетоды нанесения элементов наноструктур и наноматериаловФизические методы (лазерные, электронно лучевые, ионно плазменные) осаждения слоев нанометровых толщинХимическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Курчатовский источник синхротронного излучения — Здание Курчатовского синхротрона. Курчатовский Источник Синхротронного Излучения (КИСИ) позволяет получать синхротронное излучение в …   Википедия

  • Управляемые методы формирования наноструктур — ПодразделыОптическая литографияЭлектронная литографияРентгеновская литографияНаноимпринтинг и травлениеФокусированная ионная резкаПланиризация поверхности, полировкаПоверхностная иммобилизация (химическая пришивка) молекулЛокальные поверхностные… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Фотолитография — Линия фотолитографии для производства кремниевых пластин Фотолитография метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из …   Википедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»

We are using cookies for the best presentation of our site. Continuing to use this site, you agree with this.