Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)

Статьи

• диэлектрик
• лаборатория на чипе
• литография
• микроморфология
• нанометр
• нанофотоника
• оптический пинцет
• фокусированный ионный пучок

(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)