маска

маска
Термин
маска
Термин на английском
mask, projection mask
Синонимы
шаблон
Аббревиатуры
Связанные термины
литография, кварцевые микровесы, фоторезист
Определение
твердотельная плоская пластина с непрозрачным изображением топологического рисунка, имеющая прозрачные для облучения области вне рисунка (позитивный процесс); для негативного процесса прозрачными являются области топологического рисунка.
Описание

Маска является одним из важнейших элементов фотолитографической технологии микроэлектроники. Для того чтобы нанести рисунок схемы на пластину, с помощью управляемой компьютером машины (степпера) выполняется фотолитография. Целью ее является создание в слое материала фоторезиста "окна" заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной пленкой. Такие "окна" образуются при экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения лазера, в результате фоторезист теряет (или приобретает) растворимость. Конфигурацию "окон" задают соответствующие маски, после применения которых полученное изображение конденсируется с помощью специальной системы линз.

Именно она уменьшает заданный на маске шаблон до микроскопических размеров схемы. Кремниевая пластина закрепляется на позиционном столе под системой линз и перемещается с его помощью таким образом, чтобы были последовательно обработаны все размещенные на пластине микропроцессоры. Ультрафиолетовые лучи от лазера проходят через свободные пространства на маске. Под их действием светочувствительный слой в соответствующих местах пластины приобретает способность к растворению и затем удаляется органическими растворителями. Современная фотолитографическая машина обрабатывает за один час несколько десятков восьмидюймовых полупроводниковых пластин.

Сейчас большинство кристаллов производятся с помощью ультрафиолетовых лучей с длиной волны 0,248 мкм. Для создания ряда кристаллов разработана литографическая технология, обеспечивающая длину волны 0,193 мкм. Однако когда фотолитография перешагнула границу 0,2 мкм, возникли серьезные проблемы, которые впервые за историю этой технологии поставили под сомнение возможность ее дальнейшего использования. Например, при длине волны меньше 0,2 мкм слишком много света поглощается светочувствительным слоем, поэтому усложняется и замедляется процесс передачи шаблона схемы на процессор. Подобные проблемы побуждают исследователей и производителей искать альтернативы традиционной литографической технологии, одной из которых является использование для экспозиции жесткого ультрафиолетового излучения (Extreme Ultra Violet, EUV).


Авторы
  • Наймушина Дарья Анатольевна
Ссылки
  1. http://chernykh.net/content/view/430/637/
Иллюстрации
Теги
Разделы

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Игры ⚽ Нужна курсовая?
Синонимы:
, , , , , , , , , , , ,


Полезное


Смотреть что такое "маска" в других словарях:

  • маска — и, ж. masque m., нем. Masque, ит. maszka. 1. Накладка в виде повязки с вырезами для глаз, закрывающая верхнюю часть лица (обычно в маскараде). БАС 1. Будь завтра в маскараде в белом домине, в полной черной маске. Зритель 2 98. // Сл. 18. Увидеть… …   Исторический словарь галлицизмов русского языка

  • маска — маска: Лицевая часть, обеспечивающая подачу очищенного воздуха или дыхательной смеси в органы дыхания и закрывающая лицо: Источник: ГОС …   Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации

  • МАСКА — (фр. masque, от араб. maskharah насмешка). 1) изображение человеческого лица, сделанное из бумаги или ткани. 2) человек, надевший маску. 3) лицемерие, притворство. Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка. Чудинов А.Н., 1910.… …   Словарь иностранных слов русского языка

  • МАСКА — (в косметике) процедура, заключающаяся в нанесении на кожу лица какого либо вещества или смеси веществ, оказывающих различное действие. Маски подразделяются на смягчающие, обезжиривающие, вяжущие, шелушащие, рассасывающие и т. д. Некоторые маски… …   Краткая энциклопедия домашнего хозяйства

  • МАСКА — МАСКА, маски, ж. [от араб. mashara насмешка]. 1. Накладка на лицо или только верхнюю часть его, с вырезами для глаз, надеваемая для того, чтобы не быть узнанным. В маскараде все танцующие были в масках. 2. В маскараде человек в маске, ряженый.… …   Толковый словарь Ушакова

  • маска — железная маска, снимать маску, срывать маску.. Словарь русских синонимов и сходных по смыслу выражений. под. ред. Н. Абрамова, М.: Русские словари, 1999. маска трафарет, стереотип, (фото)шаблон, слепок, матрица; личина; накладка, святочная харя,… …   Словарь синонимов

  • Маска — (иноск.) притворство, двоедушіе. Маскировать скрывать. «Маска спала» обнаружилась истина. Ср. Мой костюмъ, поведеніе все это маска. Я буду съ вами откровенна. Островскій. Волки и овцы. 2, 8. Ср. Княгиня скрывала этотъ ударъ (въ ея жизни) въ… …   Большой толково-фразеологический словарь Михельсона (оригинальная орфография)

  • МАСКА — жен., франц. личина, в прямом и переносном значении, накладная рожа, для потехи; | притворство, двоедушие. | Окрутник, ряженый, переряженый, переодетый. Маскировать, ровывать кого, окручать, рядить в необычную одежду, для потехи, и накладывать… …   Толковый словарь Даля

  • МАСКА — жен., франц. личина, в прямом и переносном значении, накладная рожа, для потехи; | притворство, двоедушие. | Окрутник, ряженый, переряженый, переодетый. Маскировать, ровывать кого, окручать, рядить в необычную одежду, для потехи, и накладывать… …   Толковый словарь Даля

  • маска — маска, маскарон Включенное в архитектурный декор скульптурное изображение львиной морды, лица человека, фавна, гидры и т.п. Ист.: Плужников, 1995 Иллюстрации: Маска (маскарон) льва в декоре Владимирского собора в Херсонесе. Крым, Севастополь.… …   Словарь храмового зодчества

  • МАСКА — (франц. masque) 1) накладка с вырезами для глаз, скрывающая лицо, иногда с изображением человеческого лица, головы животного или мифического существа. Маски ритуальные надевались исполнителями религиозных обрядов в первобытных культах. Маски… …   Большой Энциклопедический словарь


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»