фоторезист


фоторезист
Термин
фоторезист
Термин на английском
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
литография, травление в литографии
Определение
свето- или рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения пленочного покрытия на подложку в литографическом процессе путем его облучения (экспонирования) через маску с проекциями элементов электронной схемы и последующего проявления (травления в растворителе) так, что изображение схемы переносится на подложку.
Описание

В зависимости от характера изменения структуры и свойств в результате облучения, фоторезисты делят на негативные и позитивные. Если в результате облучения пленка полимеризуется и теряет растворимость, то обработка растворителем (проявление) ведет к удалению только необлученных участков, и на подложке возникает негативное изображение маски. Соответствующие фоторезисты называются негативными. Если после облучения фоторезист становится растворимым, то при облучении через маску и последующем проявлении удаляются облученные участки, и на подложке возникает позитивное изображение маски. Такие фоторезисты называют позитивными. Позитивные фоторезисты позволяют более точно передавать мелкие геометрические детали изображения по сравнению с негативными. Позитивные фоторезисты изготовляют из феноло- или крезолоформальдегидной смолы с о-нафтохинондиазидом, негативные - из поливинилового спирта с солями хромовых кислот или циклизованного каучука с добавками, вызывающими “сшивание” макромолекул при облучении.

Авторы
  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
Иллюстрации
Установка для нанесения фоторезиста

Установка для нанесения фоторезиста


Теги
Разделы
Оптическая литография
Управляемые методы формирования наноструктур

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Синонимы:

Смотреть что такое "фоторезист" в других словарях:

  • фоторезист — фоторезист …   Орфографический словарь-справочник

  • Фоторезист — (от фото и англ. resist)  полимерный светочувствительный материал. Наносится на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить соответствующее фотошаблону расположение окон для доступа травящих или …   Википедия

  • фоторезист — сущ., кол во синонимов: 2 • материал (306) • резист (5) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 …   Словарь синонимов

  • фоторезист — Светочувствительная жидкость, наносимая на подложку в виде однородной тонкой пленки. После обжига выполняется экспозиция с помощью маски с конкретной конфигурацией. Материал, остающийся после проявления, сопротивляется последующим травлению или… …   Справочник технического переводчика

  • фоторезист — fotorezistas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical resist; photoresist; photosensitive lacquer vok. Fotolack, m; Fotoresist, n rus. фоторезист, m pranc. photorésist, m; résine photosensible, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • фоторезист — fotorezistas statusas T sritis chemija apibrėžtis Elektromagnetinei spinduliuotei jautri fotolitografinė medžiaga. atitikmenys: angl. photoresist rus. фоторезист …   Chemijos terminų aiškinamasis žodynas

  • Фоторезист — (от Фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать)         полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Ф. используются в полупроводниковой электронике (См.… …   Большая советская энциклопедия

  • фоторезист — фоторез ист, а …   Русский орфографический словарь

  • фоторезист печатной платы — …   Справочник технического переводчика

  • фоторезист на водной основе — — [Я.Н.Лугинский, М.С.Фези Жилинская, Ю.С.Кабиров. Англо русский словарь по электротехнике и электроэнергетике, Москва, 1999 г.] Тематики электротехника, основные понятия EN water base photoresist …   Справочник технического переводчика


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»

We are using cookies for the best presentation of our site. Continuing to use this site, you agree with this.