- фоторезист
-
- Термин
- фоторезист
- Термин на английском
- Синонимы
- Аббревиатуры
- Связанные термины
- литография, травление в литографии
- Определение
- свето- или рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения пленочного покрытия на подложку в литографическом процессе путем его облучения (экспонирования) через маску с проекциями элементов электронной схемы и последующего проявления (травления в растворителе) так, что изображение схемы переносится на подложку.
- Описание
В зависимости от характера изменения структуры и свойств в результате облучения, фоторезисты делят на негативные и позитивные. Если в результате облучения пленка полимеризуется и теряет растворимость, то обработка растворителем (проявление) ведет к удалению только необлученных участков, и на подложке возникает негативное изображение маски. Соответствующие фоторезисты называются негативными. Если после облучения фоторезист становится растворимым, то при облучении через маску и последующем проявлении удаляются облученные участки, и на подложке возникает позитивное изображение маски. Такие фоторезисты называют позитивными. Позитивные фоторезисты позволяют более точно передавать мелкие геометрические детали изображения по сравнению с негативными. Позитивные фоторезисты изготовляют из феноло- или крезолоформальдегидной смолы с о-нафтохинондиазидом, негативные - из поливинилового спирта с солями хромовых кислот или циклизованного каучука с добавками, вызывающими “сшивание” макромолекул при облучении.
- Авторы
- Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
- Ссылки
- А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
- Иллюстрации
Установка для нанесения фоторезиста
- Теги
- Разделы
- Оптическая литография
Управляемые методы формирования наноструктур
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») - Термин
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.
Смотреть что такое "фоторезист" в других словарях:
фоторезист — фоторезист … Орфографический словарь-справочник
Фоторезист — (от фото и англ. resist) полимерный светочувствительный материал. Наносится на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить соответствующее фотошаблону расположение окон для доступа травящих или … Википедия
фоторезист — сущ., кол во синонимов: 2 • материал (306) • резист (5) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 … Словарь синонимов
фоторезист — Светочувствительная жидкость, наносимая на подложку в виде однородной тонкой пленки. После обжига выполняется экспозиция с помощью маски с конкретной конфигурацией. Материал, остающийся после проявления, сопротивляется последующим травлению или… … Справочник технического переводчика
фоторезист — fotorezistas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical resist; photoresist; photosensitive lacquer vok. Fotolack, m; Fotoresist, n rus. фоторезист, m pranc. photorésist, m; résine photosensible, f … Radioelektronikos terminų žodynas
фоторезист — fotorezistas statusas T sritis chemija apibrėžtis Elektromagnetinei spinduliuotei jautri fotolitografinė medžiaga. atitikmenys: angl. photoresist rus. фоторезист … Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
Фоторезист — (от Фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать) полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Ф. используются в полупроводниковой электронике (См.… … Большая советская энциклопедия
фоторезист — фоторез ист, а … Русский орфографический словарь
фоторезист печатной платы — … Справочник технического переводчика
фоторезист на водной основе — — [Я.Н.Лугинский, М.С.Фези Жилинская, Ю.С.Кабиров. Англо русский словарь по электротехнике и электроэнергетике, Москва, 1999 г.] Тематики электротехника, основные понятия EN water base photoresist … Справочник технического переводчика
