фотолитография

ФОТОЛИТОГРА́ФИЯ -и; ж.

1. Литография, основанная на применении фотографии, когда рисунок, изображение с негатива наносится на литографический камень или металлическую пластинку, покрытые светочувствительным слоем.

2. Оттиск с литографической печатной формы, изготовленной таким способом. Цветная ф.

◁ Фотолитографи́ческий, -ая, -ое. Ф. способ. Ф-ое издание.

* * *

фотолитогра́фия

1) литография с использованием печатной формы, созданной на поверхности литографского камня посредством фотокопирования; оттиск, полученный с такой формы. 2) Фотолитография в планарной технологии — способ образования на поверхности полупроводникового кристалла (подложки) маски с «окнами» определённой формы и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и других электронных приборов. Осуществляется фотокопированием изображения маски на слой фоторезиста (покрывающий кристалл), который после соответствующей химической обработки (вскрытия «окон») становится такой маской.

* * *

ФОТОЛИТОГРАФИЯ

ФОТОЛИТОГРА́ФИЯ, фотомеханический способ изготовления печатной формы плоской печати на камне или металлической пластине, а также оттиск с такой формы.