- electrostatic chuck
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электростатический держатель
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
electrostatic chuck
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Chuck (engineering) — Self centering three jaw chuck and key with one jaw removed and inverted showing the teeth that engage in the scroll plate. The scroll plate is rotated within the chuck body by the key, the scroll engages the teeth on the underside of the jaws… … Wikipedia
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elektrostatischer Waferhalter — elektrostatinis plokštelių laikiklis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electrostatic wafer carrier; electrostatic wafer chuck vok. elektrostatische Waferaufnahmevorrichtung, f; elektrostatischer Waferhalter, m rus.… … Radioelektronikos terminų žodynas
