- E-beam [electron-beam] microfabrication
-
электронно-лучевая микролитография
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
E-beam [electron-beam] microfabrication
Смотреть что такое "E-beam [electron-beam] microfabrication" в других словарях:
Electron beam lithography — (often abbreviated as e beam lithography) is the practice of scanning a beam of electrons in a patterned fashion across a surface covered with a film (called the resist),cite book |last= McCord |first=M. A. |coauthors=M. J. Rooks |title=… … Wikipedia
Electron beam induced deposition — (EBID) is a process of decomposing gaseous molecules by electron beam leading to deposition of non volatile fragments onto a nearby substrate. Process Focused electron beam of scanning electron microscope (SEM) or scanning transmission electron… … Wikipedia
Microfabrication — Synthetic detail of a micromanufactured integrated circuit through four layers of planarized copper interconnect, down to the polysilicon (pink), wells (greyish) and substrate (green) Microfabrication is the term that describes processes of… … Wikipedia
Electron — For other uses, see Electron (disambiguation). Electron Experiments with a Crookes tube first demonstrated the particle nature of electrons. In this illustration, the profile of the cross shaped target is projected against the tube face at right… … Wikipedia
Électron — Traduction à relire Electron → … Wikipédia en Français
Scanning Electron Microscopy — Microscopie électronique à balayage Pour les articles homonymes, voir MEB, SEM et Microscope. Microscope électronique à balayage JEOL JSM 6340F … Wikipédia en Français
3D microfabrication — relates to the engineering of bulk solids on the micrometre or submicrometre scale. Although the term nanofabrication might be considered for the submicrometre scale, it is not in common use, and tends to relate to a bottom up approach (while… … Wikipedia
Microscope électronique à balayage — Microscopie électronique à balayage Pour les articles homonymes, voir MEB, SEM et Microscope. Microscope électronique à balayage JEOL JSM 6340F … Wikipédia en Français
Microscopie electronique a balayage — Microscopie électronique à balayage Pour les articles homonymes, voir MEB, SEM et Microscope. Microscope électronique à balayage JEOL JSM 6340F … Wikipédia en Français
Microscopie Électronique À Balayage — Pour les articles homonymes, voir MEB, SEM et Microscope. Microscope électronique à balayage JEOL JSM 6340F … Wikipédia en Français
Microscopie électronique à balayage — Pour les articles homonymes, voir MEB, SEM, Microscope (homonymie) et Microscopie. Microscope électronique à balayage JEOL JSM 6340F La microscopie éle … Wikipédia en Français
