- травление распылением
-
sputter etching
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
физическое травление — Травление распылением; процесс травления через физические взаимодействия (передача момента) между ускоряемыми ионами химически инертных веществ (например, Ar) и протравливаемым твердым телом; анизотропное, неизбирательное.… … Справочник технического переводчика
Технология авиастроения — область технологии машиностроения, включающая процессы, методы, способы и технические средства изготовления изделий авиационной техники. В начальный период развития авиационной техники Т. а. располагала ограниченными средствами, которые… … Энциклопедия техники
КРЕМНИЙ — (Silicium) Si, химический элемент IV гр. периодич. системы, ат. н. 14, ат. м. 28,0855. Состоит из трех стабильных изотопов 28Si (92,27%), 29Si (4,68%) и 30Si (3,05%). Поперечное сечение захвата тепловых нейтронов 1,3.10 29 м 2. Конфигурация внеш … Химическая энциклопедия
ЛАКОКРАСОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ — образуются в результате пленкообразования (высыхания, отверждения) лакокрасочных материалов, нанесенных на пов сть (подложку). Осн. назначение: защита материалов от разрушения (напр., металлов от коррозии, дерева от гниения) и декоративная… … Химическая энциклопедия
Технологический процесс в электронной промышленности — Кристаллический кремний … Википедия