- технология микрообработки
-
microfabrication technique, microstructure (fabrication) technique, microfabrication technology
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
Микроэлектромеханические системы — МЭМС сканер. На кристалле реализован привод зеркала и само … Википедия