- реактивное травление
-
reactive etching
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
реактивное травление
Смотреть что такое "реактивное травление" в других словарях:
реактивное травление — reaktyvusis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m … Radioelektronikos terminų žodynas
реактивное ионное травление — Разновидность плазменного травления, при котором полупроводниковая подложка во время травления помещается электрод, питаемый ВЧ мощностью. Подложка приобретает потенциал, которым ускоряются травящие реагенты, извлеченные из плазмы по направлению… … Справочник технического переводчика
Травление в литографии — (англ. etching (development) in lithography) этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков подложки, покрытой тонкой… … Википедия
травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
реактивное ионное травление — reaktyvusis joninis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion etching; reactive ion milling vok. reaktives Ionenätzen, n rus. реактивное ионное травление, n pranc. décapage ionique réactif, m … Radioelektronikos terminų žodynas
реактивное ионно-пучковое травление — reaktyvusis jonpluoštis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion beam etching vok. reaktives Ionenstrahlätzen, n rus. реактивное ионно пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau d ions réactifs, m … Radioelektronikos terminų žodynas
глубокое реактивное ионное травление — Метод используется для установки границ глубоких геометрических конфигураций в кремнии; необходим для формирования структур MEMS. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN DRIEdeep reactive ion etching … Справочник технического переводчика
Селективное травление — (или избирательное травление) термин применяющийся для обозначения травления преимущественно одного материала по сравнению с другим, который обладает гораздо меньшей скоростью травления. Иногда применяется при изготовлении гибридных интегральных… … Википедия
ионно-лучевое травление — Ion Beam Etching Ионно лучевое травление (ИЛТ) Процесс удаления вещества с поверхности твердого тела, осуществляемый его бомбардировкой пучками ионов инертных газов. Реактивное ИЛТ (РИЛТ) удаление материала за счет химического взаимодействия… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
décapage réactif — reaktyvusis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m … Radioelektronikos terminų žodynas
reactive etching — reaktyvusis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m … Radioelektronikos terminų žodynas
