- литография с зазором
-
proximity lithography
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
Иммерсионная литография — У этого термина существуют и другие значения, см. Иммерсия. В иммерсионной ли … Википедия